基于鐵磁薄膜的磁調(diào)帶阻濾波器設(shè)計.pdf

1、隨著國際通訊、安全、軍事競爭的日益激烈,各種電子設(shè)施要求可以在極端的氣候情況下工作。工作在微波頻段的接收或者發(fā)射機(jī)以其可輕易穿越大霧、云層及煙霧等特性,顯示出了可見光及紅外頻段的器件無法比擬的優(yōu)越性,從而被各國研究學(xué)者重視。目前,寬帶微波通訊系統(tǒng)中除濾波器外的后端系統(tǒng)都可以集成在單個芯片中,濾波器組的體積已經(jīng)遠(yuǎn)大于后端的整個系統(tǒng)。隨著微波通訊頻段的廣泛應(yīng)用,微波頻段的電磁環(huán)境變的越來越復(fù)雜。為了提高微波頻段的通訊質(zhì)量,就需要針對通訊頻段

2、某些信號進(jìn)行衰減,帶阻濾波器就被廣泛應(yīng)用在該場合。采用傳統(tǒng)YIG小球技術(shù)制成的帶阻濾波器,其體積龐大、不易集成。 本論文旨在研究一種能與單片集成電路技術(shù)兼容的薄膜器件(磁調(diào)帶阻濾波器),磁調(diào)帶阻濾波器是指濾波器的阻帶中心頻點(diǎn)可以隨著外部的直流磁場變化而隨之調(diào)諧。磁調(diào)帶阻濾波器基于鐵磁共振原理,采用具有高飽和磁化強(qiáng)度的FeCoB薄膜,外加一個很小的直流磁場就可以工作微波頻段,克服了傳統(tǒng)技術(shù)帶阻濾波器需要很大外加直流磁場的缺點(diǎn)。

3、 針對磁調(diào)帶阻濾波器的設(shè)計本論文將從三個方面開展工作。第一,進(jìn)行磁調(diào)帶阻濾波器電路及結(jié)構(gòu)設(shè)計分析。對濾波器特性進(jìn)行研究,設(shè)計電路圖形與掩膜板。第二,FeCoB薄膜制備工藝研究。鐵磁薄膜特性直接決定了濾波器品質(zhì),FeCoB薄膜制備以及性能研究是一個研究重點(diǎn)。第三,激勵器及測試平臺的研究與設(shè)計。激勵器作為磁調(diào)帶阻濾波器的組成部分,為濾波器工作提供可調(diào)節(jié)的直流磁場。。 通過以上工作,本論文設(shè)計實(shí)現(xiàn)了一個工作在微波毫米波頻段、中心阻