螺桿泵膠液分配實驗研究與膠液擠出理論分析.pdf

1、隨著微電子封裝在國內(nèi)的迅猛發(fā)展，用于芯片封裝工藝的螺桿泵膠液分配技術(shù)以其適應(yīng)性強、效率高和精度高獲得了廣泛的應(yīng)用。但是目前，螺桿泵膠液分配裝備幾乎完全由國外公司供應(yīng)，形成壟斷之勢，而且價格昂貴；而在國內(nèi)對這方面的技術(shù)落后，機理研究不多，并被列為國家自然科學(xué)基金重大項目。本論文是該課題的重要研究內(nèi)容之一。 本文分析了一個基于自建的螺桿泵膠液分配系統(tǒng)，詳細(xì)的闡述了膠液分配系統(tǒng)的集成，根據(jù)系統(tǒng)集成化的要求和功能需求，設(shè)計和實現(xiàn)用于螺桿

2、泵的驅(qū)動控制器；由于存在系統(tǒng)平臺和基板誤差，嚴(yán)重地影響到系統(tǒng)的膠液分配效果，本文通過檢測實際的膠液分配過程，獲得誤差數(shù)據(jù)，結(jié)合計算機軟件靈活的程序控制，采用軟件補償?shù)姆椒ㄊ拐`差得到有效地控制，并通過檢測和實驗驗證這種方法非常有效，從而建立起高精度的螺桿泵膠液分配系統(tǒng)。 由于影響螺桿泵膠液分配效果的因素很多，之間的作用機理復(fù)雜，要進行實驗研究必須將這種多因素的影響轉(zhuǎn)化為單一因素的影響。文中通過這種實驗的簡化之后，在現(xiàn)有的膠液分配實

3、驗條件下，針對膠液分配高度和螺桿泵擠膠時間，分別進行了大量的實驗研究，定量地分析了膠液分配高度和擠膠時間的變化對膠液分配尺寸和一致性的影響，從而確定要獲得預(yù)定一致性保持在≤±10％的膠液分配效果，對這些參數(shù)的設(shè)定范圍。 為了進一步從理論上探明螺桿泵膠液擠出量，論文最后，根據(jù)實際應(yīng)用于膠液分配中的螺桿泵增壓、泵送原理，建立螺桿泵的擠膠理論模型，可方便地計算和分析螺桿泵在特定實驗條件下的膠液擠出量；由于螺桿泵實現(xiàn)微電子封裝的膠液分配