串聯(lián)機械系統(tǒng)故障預(yù)測與控制問題的實證研究.pdf

1、隨著微電子工業(yè)和先進制造技術(shù)的發(fā)展，設(shè)備的結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，成本也越來越高。提高設(shè)備利用率對生產(chǎn)效率的改進方面起著至關(guān)重要的作用，是降低生產(chǎn)成本的關(guān)鍵因素。本文主要研究的對象是半導(dǎo)體封裝測試工廠的設(shè)備故障數(shù)據(jù)。通過對歷史故障數(shù)據(jù)的分析，實現(xiàn)對設(shè)備故障的預(yù)測，從而對設(shè)備維修維護策略提供參考，最終實現(xiàn)提高設(shè)備利用率的目標。 本文研究的故障數(shù)據(jù)取自不同的串聯(lián)機械系統(tǒng)，而不同的機械系統(tǒng)是由幾個，甚至十幾個不同的設(shè)備組成的。針對這樣復(fù)雜的數(shù)

2、據(jù)，本文主要利用時間序列的方法建立預(yù)測模型。把故障數(shù)據(jù)看成時間序列的一組動態(tài)數(shù)據(jù)。這些動態(tài)數(shù)據(jù)往往是非平穩(wěn)的，需要考慮對序列進行平穩(wěn)化處理。 針對數(shù)據(jù)非平穩(wěn)性的特點，本文嘗試利用差分的方法對數(shù)據(jù)進行平穩(wěn)化處理。平穩(wěn)化效果較為理想，故嘗試建立ARIMA預(yù)測模型，并進行預(yù)測分析。預(yù)測分析結(jié)果表明了該方法的可行性。 針對一些數(shù)據(jù)表現(xiàn)出階段性的趨勢，本文嘗試一種新的疊合預(yù)測模型。在這種疊合預(yù)測模型中，序列{X1}被分解成確定性趨