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1、分類、么心矛多補(bǔ)UDC注1學(xué)位論文PST陶瓷及薄膜材料研究(題名和副題名)裴亞芳(作者姓名)指導(dǎo)教師姓名楊傳仁教授博導(dǎo)(職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址)申請(qǐng)專業(yè)學(xué)位級(jí)別碩士專業(yè)名稱電子信息材料與元器件論文提交日期2007.1論文答辯日期20073學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)答辯委員會(huì)主席評(píng)閱人2007年]月日注l:注明《國(guó)際十進(jìn)分類法UDC》的類號(hào)。AbstraCtAbstraCtFerroeleetriematerialsarea
2、ttraetivefaPPlieationsintunablemicrowavedeviees,suehaseleetricallytunableresonators,tunablefiltersandPhaseshifters.Bariumstrontiumtitanate(BST)itsdoPedserieshaveintensivelybeeninvestigateduPtodate.Reeently,Crossetal.have
3、foundthatleadstrontiumtitanate(Pbxsr,一xTIO3)(PST)eeramiehasbothhightunability(70%)quitelowdieleetrie1055(0.1%),itsfigureofmerit(FOM)eouldreaehquitehigh(700).Inaddition,thePSTfilmshavelowererystallizationtemPeraturethanBS
4、T.Thus,PSTeouldbeeomeaveryPersPeetivematerialftunabledevicesaPPlieations.PST(x=0.2一0.8)eeramieswerefabrieatedbytheeonventionalProeessingmethodandtheeffeetofthePbeontentonthemierostruetureanddieleetrieProPertieswerestudie
5、d.TheoPtimizedeomPosition,exeessPbeontent出zdtheProeessconditionwereSelectedtosintertheceramicstarget.ThenPST3OthinfilmwerePreParedbyRFmagnetronsPuteringsystem,andtheeffeetofdePositesubstrates,temPerature,Powerandtheannea
6、lingternPeraturewereinvestigated.Thefollowingaretheresults.ThelattieestruetureofthePSTeeramies15changedfromeubietotetragonalPhaseat45at%Pbeontent.Therefe,thewell一behavedhysteresislooPseanbeobservedfthePSTeeramieswithPbeo
7、ntenthigherthan45at%.Thevaluesoftheeoereiveeleetriefield(Ee)remnantPolarization(P:)inereasewithPbSrratio.ThesinteredtemPeraturedeereaseswithinxeasingthePbSrratio.SinteredatthesametemPerature,thegrainsizethedensityinereas
8、ewiththePbSrratio.TheCurietemPerature(Te),whieh15alwayshigherthantheWeisstemPerature(To),increaseslinearlywiththeinereaseofthePbeontent.It15foundthatthePSTeeranliesshowthesimilarCurie一Wiesseonstant.ComPletePerovskitestru
9、etureaswellassuPlusPb3O4PhasehasbeenfoundinPSTeeramiesat900oC.AbnormalhysteresislooPsareobservedduetoboththesuPerfluousPbandthePbvaeaneies.PST3Oeeramieswith3mol%exeessPb15agoodtargeteomPositionfPhaseshifter.ThePST3Otarge
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