波長(zhǎng)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的設(shè)計(jì)及其制造工藝.pdf

1、波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器是一種重要的光源器件，它在波分復(fù)用系統(tǒng)、可重構(gòu)的光分叉復(fù)用網(wǎng)絡(luò)、干涉測(cè)量學(xué)及光譜學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。 本文中提出了兩種波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器的新型設(shè)計(jì)方法：(1)V型耦合腔半導(dǎo)體激光器。它具有兩個(gè)長(zhǎng)度不同的波導(dǎo)分支，利用兩個(gè)波導(dǎo)所形成的諧振腔的諧振波長(zhǎng)之間的游標(biāo)效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的調(diào)節(jié)，它還可以通過(guò)一個(gè)光學(xué)耦合器對(duì)兩個(gè)腔之間的耦合系數(shù)進(jìn)行優(yōu)化從而實(shí)現(xiàn)良好的單模選擇特性，同時(shí)又具有一個(gè)很寬的波長(zhǎng)調(diào)諧范圍。(2)單片集成

2、無(wú)跳模波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器。它由以下幾部分組成：一個(gè)有源波導(dǎo)，一個(gè)內(nèi)置于光學(xué)腔內(nèi)的波長(zhǎng)色散衍射光柵，一個(gè)位于有源波導(dǎo)和光柵之間的平板波導(dǎo)區(qū)，以及一個(gè)鄰近平板波導(dǎo)區(qū)的具有特定形狀和尺寸的波長(zhǎng)調(diào)諧區(qū)，該區(qū)域夾在一對(duì)電極之間，通過(guò)一種電效應(yīng)改變?cè)搮^(qū)域的有效折射率從而調(diào)節(jié)光柵濾波器的波長(zhǎng)，同時(shí)調(diào)節(jié)光學(xué)腔的長(zhǎng)度，使得激光模式波長(zhǎng)的調(diào)節(jié)與光柵濾波器的波長(zhǎng)調(diào)節(jié)同步，從而實(shí)現(xiàn)無(wú)跳模連續(xù)調(diào)諧，這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)還可用于多波段集成可調(diào)激光器以及多波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器陣列