QP160內(nèi)圓切片機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn).pdf

1、本文以京儀公司應(yīng)客戶預(yù)訂開發(fā)的新產(chǎn)品為原形，介紹了QP160內(nèi)圓切片機(jī)的工作原理、工藝要求以及相關(guān)數(shù)控系統(tǒng)的特點(diǎn)與關(guān)鍵技術(shù)。 通過對(duì)QP160內(nèi)圓切片機(jī)系統(tǒng)被控對(duì)象及執(zhí)行機(jī)構(gòu)的研究與分析，并根據(jù)數(shù)控機(jī)床的相關(guān)知識(shí)和有關(guān)數(shù)據(jù)，建立了被控對(duì)象和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型；并對(duì)該模型進(jìn)行了動(dòng)態(tài)、穩(wěn)態(tài)分析。在此基礎(chǔ)上率先在國內(nèi)提出在內(nèi)圓切片機(jī)上采用CNC單軸控制器來實(shí)現(xiàn)進(jìn)料系統(tǒng)精密控制，并做出了由交流伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器、高精度滾珠絲杠、精密齒輪系

2、組成高精度傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案，在設(shè)計(jì)思路上體現(xiàn)了高精度、高速度、操作簡單化、高可靠性等理念，針對(duì)設(shè)計(jì)方案作者詳細(xì)的給出了設(shè)計(jì)計(jì)算過程及核定驗(yàn)算； 最后，文中介紹了樣機(jī)制造后在企業(yè)內(nèi)部進(jìn)行的調(diào)試和切削運(yùn)行實(shí)驗(yàn)，對(duì)在車間溫度20℃--25℃的環(huán)境中切削的200片6寸硅單晶片進(jìn)行了檢測，實(shí)現(xiàn)了單片定位精度、晶片切削精度達(dá)到國際水平(單片TTV≤10um，多片TTV≤15um，彎曲度BOW≤15um)。用戶驗(yàn)收通過，表明作者設(shè)計(jì)開發(fā)的設(shè)