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文檔簡(jiǎn)介
1、隨著工農(nóng)業(yè)的迅速發(fā)展,對(duì)薄膜的需求量日趨增大,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、電子工業(yè)、化學(xué)分析等領(lǐng)域。根據(jù)不同的用途和使用環(huán)境,對(duì)薄膜厚度也提出了不同的要求。如果在薄膜生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行厚度檢測(cè)與控制,在保證質(zhì)量的同時(shí)還可節(jié)約原材料,同時(shí)還有利于生產(chǎn)線的高速穩(wěn)定運(yùn)行。 在線測(cè)厚設(shè)備的應(yīng)用,優(yōu)點(diǎn)是:在線測(cè)厚能夠以最快的速度獲取厚度測(cè)試數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)據(jù)分析,及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù),縮短開(kāi)車(chē)時(shí)間。缺點(diǎn)是:在線測(cè)厚設(shè)備必須配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架
2、,這在一定程度上限制了在線測(cè)厚設(shè)備的重復(fù)利用。 本論文詳細(xì)介紹了對(duì)薄膜厚度測(cè)量設(shè)備的測(cè)量控制方案的制定與實(shí)現(xiàn),利用單片機(jī)對(duì)伺服電機(jī)進(jìn)行控制并接收編碼器和CCD的信號(hào),并用虛擬儀器軟件進(jìn)行測(cè)量控制界面的制作,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)傳感器測(cè)頭位置的控制及信號(hào)的讀取。然后對(duì)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定實(shí)驗(yàn),并給出了補(bǔ)償?shù)脑敿?xì)步驟及補(bǔ)償程序的實(shí)現(xiàn)。又對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析,找出系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性差的原因,并提出了改進(jìn)的辦法,有助于下一步工作的繼續(xù)進(jìn)行。
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