薄膜拋光過(guò)程仿真與實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、區(qū)別于傳統(tǒng)的游離拋光及布基或砂帶拋光，研磨拋光膜是采用耐水、耐高溫并具備一定彈性和強(qiáng)度的高分子材料作為拋光膜的基體，將AL<,2>O<,3>或金剛石粉末與聚酰亞胺等高分子材料混合并涂附于基體的一種新型拋光工具。采用研磨拋光膜進(jìn)行精密、超精密表面加工，具有效率高和綠色加工等優(yōu)點(diǎn)。隨著現(xiàn)代高科技的發(fā)展，具有優(yōu)良性能的硬脆材料的超精密加工技術(shù)已經(jīng)成為普遍關(guān)注的焦點(diǎn)，拋光膜在光學(xué)儀器、磁性及電子元器件等精密加工制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，建立基

2、于Internet的薄膜拋光過(guò)程仿真系統(tǒng)對(duì)面向加工精度要求選擇合理拋光膜具有很大的理論和實(shí)際意義。 本文采用極大似然估計(jì)及離散數(shù)學(xué)分析表面磨粒以及形貌的分布規(guī)律，總結(jié)出不同粒徑的磨料露出高度期望值與方差磨料粒徑的正態(tài)分布曲線，并通過(guò)計(jì)算機(jī)，運(yùn)用.Net Framework技術(shù)實(shí)現(xiàn)了基于Internet的表面形貌以及粗糙度仿真。同時(shí)，通過(guò)與薄膜拋光加工實(shí)際被加工工件表面形貌及粗糙度對(duì)比，驗(yàn)證了數(shù)學(xué)模型的有效性。 本文選用硼

3、硅玻璃、硅片、鎢鉆合金等不同硬度的硬脆材料作為拋光對(duì)象，在自制的拋光機(jī)平臺(tái)上以純凈水作為冷卻液，采用不同拋光速度，用不同磨料粒度和磨料類(lèi)型的拋光膜進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)測(cè)得的結(jié)果，分析材料實(shí)際拋光精度與拋光膜磨料粒度、磨料類(lèi)型、拋光速度、拋光壓力以及拋光時(shí)間等參數(shù)之間的關(guān)系，確定不同硬度材料經(jīng)薄膜拋光加工所能達(dá)到的最大精度以及其加工過(guò)程的最優(yōu)參數(shù)。采用SQL Server建立拋光參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，利用大量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，運(yùn)用模糊查詢(xún)及條件檢索原理