三坐標(biāo)測量機(jī)空間誤差的高精度測量與分離技術(shù)研究.pdf

1、三坐標(biāo)測量機(jī)廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)制造和檢測計量中,對其精度要求也越來越高,因此對測量機(jī)的誤差檢測就顯得尤為重要。坐標(biāo)測量機(jī)的誤差源紛繁復(fù)雜,當(dāng)前主要研究的是其幾何誤差,課題中研究了一種采用二維激光干涉儀和四象限光電探測器相結(jié)合的測量方法,對三坐標(biāo)測量機(jī)的21項(xiàng)幾何誤差進(jìn)行了準(zhǔn)確、簡便、快速的測量,擺脫了線位移法測量直線過多且包含多條對角線測量的弊端,同時也解決了一維球列和球板不方便檢測的大型測量機(jī)的誤差檢測問題。測量中在坐標(biāo)測量機(jī)測量空間內(nèi)任

2、意選擇一個測量子空間OXYZ,用二維激光干涉儀在XOY,XOZ和YOZ平面內(nèi)共測量9條平行于坐標(biāo)軸方向的直線,同時借助于四象限光電探測器測量直線度運(yùn)動誤差,得到包括定位誤差、直線度運(yùn)動誤差、角運(yùn)動誤差和垂直度誤差等全部21項(xiàng)幾何誤差,然后通過測量機(jī)的準(zhǔn)剛體數(shù)學(xué)模型即可計算出整個測量空間內(nèi)各點(diǎn)的測量誤差。同時,在LabVIEW平臺上編寫仿真測試軟件,模擬實(shí)際的測量過程,并對其數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理,驗(yàn)證測量方法的可行性。通過對坐標(biāo)測量機(jī)測量誤