硅芯爐控制系統(tǒng)的研制.pdf

1、多晶硅作為信息產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料，隨著單晶硅市場急劇擴(kuò)大而引起了嚴(yán)重的資源匱乏問題。2004年1月19日，由洛陽中硅高科技有限公司試驗成功了我國第一臺12對棒多晶硅高效節(jié)能大還原爐。但是該設(shè)備需要在硅芯載體上進(jìn)行多晶硅的生產(chǎn)。因而，大規(guī)模生產(chǎn)硅芯就成為急需解決的問題。 本課題在介紹硅芯爐設(shè)備工作原理的基礎(chǔ)上，主要對硅芯爐控制系統(tǒng)進(jìn)行研制。通過分析不同的控制要求，設(shè)計了慢速系統(tǒng)、快速系統(tǒng)和籽晶托盤控制系統(tǒng)，并對每個系統(tǒng)設(shè)計思路和工作原理進(jìn)

2、行了詳細(xì)闡述。考慮到產(chǎn)量和材料消耗的問題，本硅芯爐設(shè)備通過增加一個籽晶托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以連續(xù)生長六根直徑為七到八個毫米的晶棒，這是本課題的創(chuàng)新之處。 在設(shè)計過程中，通過反復(fù)的優(yōu)化設(shè)計，使設(shè)備達(dá)到了較為理想的工作狀態(tài)，滿足了晶體生長的需要。 該硅芯爐設(shè)備已投入生產(chǎn)應(yīng)用中，并且各項運(yùn)行指標(biāo)良好，特別是采用了籽晶托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，大大地提高了生產(chǎn)效率和降低了能耗，這標(biāo)志著徹底打破了國外對我國多晶硅技術(shù)的封鎖。為改變我國硅片生產(chǎn)行業(yè)多晶硅長期依賴進(jìn)