PLD制備LiMn-,2-O-,4-薄膜及參數(shù)對(duì)薄膜微觀結(jié)構(gòu)的影響.pdf

1、由于鋰離子電池的能量密度高等原因，已經(jīng)引起許多研究者廣泛關(guān)注．在過(guò)去的幾十年當(dāng)中，研究者們對(duì)鋰離子電池材料進(jìn)行了大量的研究．在這些材料當(dāng)中，由于錳（Mn）在自然界中資源豐富，其成本比較低，且合成工藝簡(jiǎn)單，熱穩(wěn)定性高，耐過(guò)充性好，放電電壓平臺(tái)高，對(duì)環(huán)境友好等．因此LiMn2O4是最重要鋰離子電池的正極材料，自然成為研究的熱點(diǎn)。在鋰離子電池電極材料的研究中，雖然有很多國(guó)內(nèi)外學(xué)者利用PLD技術(shù)制備了LiMn2O4薄膜，但是研究主要集中在電化學(xué)

2、性質(zhì)上，對(duì)薄膜的制備技術(shù)和物理性質(zhì)方面所做的工作較少。本論文擬通過(guò)利用PLD技術(shù)，把材料做成薄膜材料，特別是通過(guò)對(duì)薄膜生長(zhǎng)條件的控制，得到定向或擇優(yōu)取向的薄膜材料，并研究生長(zhǎng)條件對(duì)薄膜微觀結(jié)構(gòu)的影響，通過(guò)對(duì)薄膜本征物理性質(zhì)的測(cè)試，分析其物理性能，為材料的實(shí)際應(yīng)用提供實(shí)驗(yàn)指導(dǎo)。因此我們?cè)诓讳P鋼襯底和單晶硅襯底（111）上用PLD制備了LiMn2O4薄膜，討論了襯底和脈沖頻率對(duì)薄膜表面形態(tài)的影響，并對(duì)襯底和脈沖頻率對(duì)薄膜的厚度和生長(zhǎng)率的影響