基于節(jié)點分析法的MEMS行為級可視化建模與仿真系統(tǒng).pdf

1、MEMS與IC之間最大的區(qū)別就是MEMS具有三維拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)并且具有機(jī)械運動特性,因此,在MEMS的設(shè)計過程中就需要考慮所設(shè)計的器件其機(jī)械性能是否達(dá)到設(shè)計的要求。這就需要MEMS設(shè)計工具能夠提供一種快速、直觀、準(zhǔn)確的MEMS器件行為級建模與仿真功能。然而隨著MEMS器件結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化,對于MEMS器件機(jī)械性能的仿真越來越復(fù)雜,往往會涉及多能域的問題,而且現(xiàn)有的MEMS行為級仿真工具所提供的仿真結(jié)果多為數(shù)值形式,對于具有三維拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的MEMS器

2、件來說,這樣的仿真工具缺乏直觀的表達(dá),因此,對MEMS行為級可視化建模與仿真系統(tǒng)的研究具有十分重要的意義。 本文以MEMS的系統(tǒng)級仿真方法--節(jié)點分析法為基礎(chǔ),以虛擬現(xiàn)實技術(shù)為工具,提出了可視化的MEMS行為級建模與仿真系統(tǒng)。并結(jié)合可擴(kuò)展的參數(shù)化IP庫,實現(xiàn)設(shè)計的可重用性,最終形成了以參數(shù)化IP庫為核心,節(jié)點分析法為基礎(chǔ),廣泛應(yīng)用虛擬現(xiàn)實技術(shù)的可視化MEMS行為級建模與仿真系統(tǒng)。整個系統(tǒng)包含了兩項關(guān)鍵技術(shù)：可視化建模技術(shù)--虛擬

3、組裝、可視化仿真技術(shù)--虛擬運行。 基于節(jié)點分析法的虛擬組裝在傳統(tǒng)三維實體建模理論的基礎(chǔ)上,體現(xiàn)了節(jié)點分析法的核心思想,即部件之間的組裝表現(xiàn)為各個部件節(jié)點之間的連接。這就決定了虛擬組裝不只是器件拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的組裝,而且包含了器件中各個部件物理規(guī)律的組裝,通過節(jié)點相互連接的部件之間具有連續(xù)變化的物理參數(shù)。虛擬組裝以IP庫中儲存的部件作為組裝的來源,組裝后生成的器件模型可以導(dǎo)入到虛擬運行中進(jìn)行行為級的仿真過程。 基于節(jié)點分析法的