基于虛擬儀器的壓力傳感器自動補償校正系統(tǒng).pdf

1、擴散硅壓力傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應。這種傳感器通常具有靈敏度高，線性好的特點。但由于IC制造工藝和器件的溫度特性等因素,這種傳感器會有零點誤差、靈敏度誤差和溫度漂移的缺點，且每個傳感器的誤差值不一樣。因此需要對每個壓力傳感器的誤差進行校正，對溫度漂移進行補償。
　　 本文針對壓力傳感器的誤差和溫度漂移問題，提出了一種用于減小壓力傳感器的誤差和降低溫度漂移的方法，該方法將傳感器組件，即壓力傳感器和專用信號調(diào)理芯片的組

2、合作為補償校正的對象，通過設置專用信號調(diào)理芯片中相關寄存器的參數(shù)值來提高傳感器性能，推導了傳感器組件的輸出電壓與壓力、溫度的關系，并在此基礎上提出了一種基于虛擬儀器技術的壓力傳感器自動補償校正系統(tǒng)。該系統(tǒng)能自動測出傳感器的壓力－溫度－輸出電壓值的關系，并自動地對壓力傳感器的零點誤差和靈敏度誤差進行校正，對溫度漂移進行補償。本系統(tǒng)由壓力傳感器組件、多路復用開關、高低溫實驗箱、可程控直流電源、可程控壓力控制器、PCI6221（數(shù)據(jù)采集控制卡

3、）、PCI-GPIB卡、PC工作站組成。本文結合虛擬儀器技術和LabVIEW語言的編程環(huán)境，分析了該系統(tǒng)各部分的功能與實現(xiàn)方法。實際測試顯示，經(jīng)補償校正后，傳感器組件在溫度漂移、靈敏度誤差和零點誤差這三個方面的性能都有很大的提高。經(jīng)過該系統(tǒng)對壓力傳感器進行補償校正后，傳感器的溫漂由0.151%下降到0.0238%，零點誤差由3.98%下降到1%，靈敏度相對誤差由6.23%下降到0.52%。該系統(tǒng)可高效地對壓力傳感器進行補償校正，且補償校