基于鎖相放大器的噪聲測試系統與測試技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、電子器件的電噪聲，特別是低頻噪聲是制約器件靈敏度和精度的關鍵指標，同時也是表征器件質量和可靠性的敏感參數。電子器件的可靠性與其低頻噪聲特性密切相關，使用噪聲測試方法能夠對器件可靠性做出評價。而噪聲的研究受限于噪聲測試技術的敏感性。目前有關此方面的研究仍是一個非?；钴S的領域，尚待解決的問題仍然很多，比如超低阻器件低頻噪聲的檢測與分析技術、具備復雜電路模塊器件低頻噪聲的檢測與分析技術等等。 本文在電噪聲測量技術基礎理論詳細研究與分析

2、的基礎上，結合我實驗室具體情況，實現了基于鎖相放大器的交流電橋噪聲測試系統，并對此測試系統進行了驗證和應用。使用本鎖相放大器測試系統獲取了厚膜樣品和鋁互連電遷移樣品的電噪聲參數數據，并對本系統測試結果與實驗室原有系統測試結果進行了分析對比，取得了以下研究成果： 1、系統的分析了電子元器件電噪聲測試方法。 2、在實驗實踐和理論研究基礎上總結了噪聲測試中應該注意的具體實驗技術。 3、提出了一種基于鎖相放大器的抑制背景

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