基于微探針加工技術(shù)的分子自組裝過(guò)程實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、納米科技作為引領(lǐng)新一代技術(shù)革命的技術(shù)，近年來(lái)在信息、材料、生物、微電子等方面顯示出重要的應(yīng)用前景。有序納米微結(jié)構(gòu)材料是納米技術(shù)的核心和基礎(chǔ)材料之一，如何方便、可控地制備預(yù)定結(jié)構(gòu)的納米微結(jié)構(gòu)材料，是當(dāng)今納米制造的熱點(diǎn)問(wèn)題。最新發(fā)展起來(lái)的嵌段共聚物自組裝技術(shù)，能夠自下而上的制備出納米微結(jié)構(gòu)，如何調(diào)控嵌段共聚物自組裝過(guò)程對(duì)制備出高度有序的納米微結(jié)構(gòu)有重要的意義。
　　本課題主要研究基底圖案對(duì)嵌段共聚物自組裝過(guò)程的調(diào)控作用。首先實(shí)現(xiàn)了AF

2、M納米加工系統(tǒng)的Z向閉環(huán)加工方式，運(yùn)用研制的加法器電路實(shí)現(xiàn)開環(huán)加工方式與閉環(huán)加工方式的切換。對(duì)比了兩種加工方式的特點(diǎn)，最終選擇了對(duì)深度控制更加精確的閉環(huán)加工方式作為基底圖案的加工方式。
　　運(yùn)用AFM納米加工系統(tǒng)在鋁合金及硅材料表面加工出了一系列二維、三維微結(jié)構(gòu)。研究了進(jìn)給量、垂直載荷對(duì)加工深度、表面粗糙度以及圖案形狀精度的影響規(guī)律，分析了采用灰度圖方式能夠加工得到高精度的三維微結(jié)構(gòu)的原因。
　　在加工好的基底上澆鑄SEBS