利用磁增強(qiáng)電暈放電技術(shù)防止激光器鏡腔污染.pdf

1、目前，在很多領(lǐng)域內(nèi)，激光都得到了廣泛而又充分的應(yīng)用。對(duì)激光器而言，由于腔鏡污染而影響光束質(zhì)量的問(wèn)題是制約激光器技術(shù)使用與發(fā)展的主要原因。造成污染的因素很多，其中主要的非本身因素是來(lái)自外界環(huán)境中的細(xì)小氣溶膠顆粒對(duì)腔鏡的污染。同時(shí)，激光發(fā)生器所產(chǎn)生的水滴、堿性液滴及碘的氣相、液相混和物，也會(huì)通過(guò)波紋管和光闌口進(jìn)入光腔盒。另外，原來(lái)存留在腔內(nèi)的污染顆粒，也會(huì)在激光器工作時(shí)形成氣溶膠。這些污染顆粒會(huì)對(duì)腔鏡造成污染，從而嚴(yán)重降低光束的質(zhì)量，影響其

2、正常的使用。能夠在不妨礙激光器正常運(yùn)行的前題下，有效防止上述氣溶膠顆粒對(duì)腔鏡的污染，是激光器形成高質(zhì)量光束的必要保證之一。 由于激光光線要在發(fā)生器內(nèi)傳送，由于光的特性，我們無(wú)法使用傳統(tǒng)的方法，如篩網(wǎng)過(guò)濾的方法來(lái)進(jìn)行凈化。因此，在激光器開(kāi)機(jī)運(yùn)行的狀態(tài)下，如何能同步地消除污染顆粒，并防止后續(xù)污染成為了一個(gè)新的技術(shù)難題。 為了實(shí)現(xiàn)激光器鏡腔的高度凈化，我們采用了磁增強(qiáng)電暈放電技術(shù)。 我們?cè)O(shè)計(jì)了一套鏡腔防污染系統(tǒng)：該系統(tǒng)