自動(dòng)阻抗匹配器驅(qū)動(dòng)程序設(shè)計(jì)及匹配算法研究.pdf

1、射頻耦合系統(tǒng)在工業(yè)和醫(yī)療領(lǐng)域有著廣泛地應(yīng)用，其中射頻耦合等離子體設(shè)備系統(tǒng)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路、液晶屏等產(chǎn)品中關(guān)鍵工藝的主流設(shè)備，而影響設(shè)備系統(tǒng)性能的關(guān)鍵部件就是阻抗匹配器。增強(qiáng)阻抗匹配器的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能和匹配精度，并保證整個(gè)設(shè)備系統(tǒng)工作在穩(wěn)定的狀態(tài)，是最終保證產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和效率的重要因素。針對(duì)國(guó)內(nèi)無(wú)自動(dòng)阻抗匹配器的現(xiàn)狀，具體開(kāi)展提高自動(dòng)阻抗匹配器功能及性能的研究開(kāi)發(fā)工作，具有非?，F(xiàn)實(shí)的社會(huì)意義和應(yīng)用價(jià)值。 本論文基于已有的自動(dòng)阻抗

2、匹配系統(tǒng)硬件平臺(tái)開(kāi)展研究，主要進(jìn)行了以下幾個(gè)方面的工作： 1.為基于ARM核心的的自動(dòng)阻抗匹配器系統(tǒng)的電容調(diào)節(jié)、反射系數(shù)采集、人機(jī)接口三大功能模塊編寫(xiě)驅(qū)動(dòng)程序。設(shè)計(jì)了電容位置檢測(cè)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)程序，實(shí)現(xiàn)對(duì)電容參數(shù)的開(kāi)環(huán)調(diào)節(jié)以及基于數(shù)字PID的閉環(huán)調(diào)節(jié)；完成了反射系數(shù)采集模塊的模擬、數(shù)字濾波器設(shè)計(jì)和快速采集處理實(shí)現(xiàn)；為人機(jī)接口設(shè)計(jì)了基于中斷和隊(duì)列的按鍵查詢(xún)和處理機(jī)制，實(shí)現(xiàn)了彩色LCD顯示功能。 2.針對(duì)梯度下降搜索算法在自