金屬離子束注入對蹄化鎘薄膜材料的改性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、CdTe具有良好的光電學(xué)性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)，因此成為制備高效率、低成本的多晶薄膜太陽電池理想的吸收層材料。本文針對CdTe薄膜，研究了其制備工藝、摻雜和后處理?xiàng)l件對薄膜結(jié)構(gòu)、形貌和光電學(xué)性質(zhì)的影響。本論文首先采用近距離升華法在不同基片上制備CdTe薄膜，研究了不同工藝條件和參數(shù)對CdT。薄膜性質(zhì)的影響。其次，在常溫下，本征CdTe薄膜均為高阻半導(dǎo)體。為了改善其導(dǎo)電性能，通常向CdTe薄膜中摻入施主或受主雜質(zhì)，其中離子注入技術(shù)是摻雜方法之一。

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