正交偏振激光測量的信號解調(diào)方法研究.pdf

1、正交偏振激光干涉信號的解調(diào)是實現(xiàn)高精度納米級激光干涉測量的先決條件之一，現(xiàn)在和將來都將是整個激光干涉信號解調(diào)領域的重點課題。先進可靠的正交信號解調(diào)技術可以使得激光干涉儀的測量精度得到大幅度的提高，達到納米甚至亞納米級，因此，正交信號解調(diào)技術在諸如精密測量、微電子、超精加工、空間技術、材料科學等眾多領域具有廣泛的應用前景。 本文圍繞正交偏振激光干涉儀的信號輸出特性，對正交干涉信號的相位解調(diào)技術做了深入的研究探索，重點進行了信號解調(diào)

2、系統(tǒng)硬件設計，信號的非線性誤差校準研究和條紋細分技術設計，主要的研究內(nèi)容和取得的成果可歸納如下： 首先，設計了低噪聲增益可調(diào)的光電轉換電路和抗混疊濾波電路以及非正交信號正交化預處理硬件電路，實現(xiàn)了低噪聲高增益的光電轉換和干涉信號預處理功能。 其次，研究了激光干涉信號誤差特性，首次深入討論了基于最小二乘法的橢圓擬合算法參數(shù)誤差特性，給出了校準算法判據(jù)，并通過設計實驗，在TMS320VC5416評估板平臺上對其進行了驗證。