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1、鋯鈦酸鉛(Pb(Zr0.53Ti0.47)O3)薄膜因其優(yōu)異的介電、鐵電和壓電性能,成為制備MEMS傳感器和驅(qū)動(dòng)器的重要材料。為了改善Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)的抗疲勞特性及電極與硅襯底的附著性,采用氧化物電極LaNiO3(LNO)來取代傳統(tǒng)Pt電極。并利用LaNiO3薄膜作為過渡層將PZT薄膜與金屬?gòu)?fù)合來拓寬PZT薄膜的應(yīng)用范圍。 采用溶膠-凝膠工藝在硅(Si)襯底及鈦(Ti)金屬基片上以LNO為底電極制備
2、PZT鐵電薄膜,研究LNO的晶化溫度、厚度及其前驅(qū)體溶膠濃度等對(duì)PZT薄膜微結(jié)構(gòu)和電性能的影響。結(jié)果表明當(dāng)LNO的晶化溫度為750℃,厚度為250 nm,LNO溶膠濃度為0.1 mol/L時(shí)PZT薄膜具有較好的結(jié)構(gòu)及電性能:對(duì)于Si和Ti基片1 kHz εr時(shí)分別為747和395.2,tanδ分別為0.03和0.038;在50 kV/cm時(shí)漏電流密度數(shù)量級(jí)為10-8A/cm2;Pr分別為16和26.8 μC/cm2,Ec分別55和99
3、kV/cm。相對(duì)Ti襯底,在Si襯底上以LNO為底電極制備的:PZT薄膜的介電常數(shù)較大、介電損耗較小、漏電流密度較小、矯頑場(chǎng)強(qiáng)較小,但剩余極化較小。 用ANSYS軟件設(shè)計(jì)了基于PZT薄膜的膜式微驅(qū)動(dòng)器,對(duì)其上電極結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),運(yùn)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行了仿真模擬。得到了膜式微驅(qū)動(dòng)器的最優(yōu)上電極為邊長(zhǎng)或直徑為2.16 mm的方形電極或圓形電極;其諧振基頻分別為25.06和25.22 kHz;在振幅為20 V,基頻的電壓下驅(qū)動(dòng)器位移為109
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