標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置的研究與應(yīng)用.pdf

1、本文主要給出了利用小孔和四極質(zhì)譜計(jì)建立真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置的原理和方法。 文中研究了小孔流導(dǎo)的基本特性，并給出了小孔流導(dǎo)的計(jì)算公式；提出了利用恒壓法對(duì)小孔流導(dǎo)進(jìn)行測(cè)試，對(duì)選定的小孔的流導(dǎo)進(jìn)行了測(cè)試，給出了小孔流導(dǎo)隨壓力變化的曲線方程。 利用小孔設(shè)計(jì)的氣體流量計(jì)，其流量可以任意調(diào)節(jié)，校準(zhǔn)時(shí)流量計(jì)提供的流量大小僅與穩(wěn)壓室的壓力有關(guān)，并且可以將流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)到與被校漏孔漏率大小相等，再用四極質(zhì)譜計(jì)將二者進(jìn)行比較，計(jì)算出漏孔的

2、漏率，這樣四極質(zhì)譜計(jì)只起比較器的作用，解決了四極質(zhì)譜計(jì)的線性以及長(zhǎng)期穩(wěn)定性差影響校準(zhǔn)結(jié)果的問題。 由于穩(wěn)壓室中的氣體壓力高，不需要特別嚴(yán)格的材料處理工藝，不需要徹底的烘烤出氣就能得到純凈的單一氣體，滿足校準(zhǔn)工作的要求；測(cè)量范圍達(dá)到了(10<'-10>～10<'-5>)Pa·m<'3>/s，評(píng)定的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.2％。通過對(duì)不確定度分量的分析可知，通過精確校準(zhǔn)電容薄膜規(guī)、控制溫度變化等方法可以進(jìn)一步降低校準(zhǔn)不確定度。