基于柔性襯底的非晶硅（a-Si）薄膜晶體管（TFT）制備技術(shù)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、柔性基板上制作薄膜晶體管(TFT)是實(shí)現(xiàn)柔性功能器件例如高清晰柔性顯示器的關(guān)鍵。本論文探索柔性TFT器件制備技術(shù)，目標(biāo)是發(fā)展柔性薄膜晶體管技術(shù)，為研制具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型柔性功能器件提供技術(shù)支撐。 論文從TFT器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)出發(fā)，以測(cè)試結(jié)構(gòu)為起點(diǎn)，在塑料柔性襯底上開展金屬電極、絕緣薄膜制備技術(shù)的研究，確定制備工藝參數(shù)。然后進(jìn)入單個(gè)a-SiTFT器件結(jié)構(gòu)的制作和20×20TFT陣列結(jié)構(gòu)的制作，并對(duì)制備的器件性能進(jìn)行表征，實(shí)現(xiàn)了具有

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