微納米測量工作臺隔振機理及實驗研究.pdf

1、隨著科學技術的日新月異，在科學研究以及實際工業(yè)生產(chǎn)中的物理實體幾何尺寸也不斷地向微細領域發(fā)展，由毫米級、微米級逐步發(fā)展到納米級。微機械(MEMS)及納米測量技術是20世紀末發(fā)展起來的新興高科技領域，在對微小物理實體的檢測過程中必須在一個具有良好隔振性能的測量平臺進行，否則任何微小的振動，如由說話的聲音和人的走動所引起的振動都會對其測量結果產(chǎn)生影響。因此解決精密測量中振動對測量系統(tǒng)的干擾問題就顯得格外重要。 本文通過對國內外大量文

2、獻的參考和研究，采用了主動與被動相結合的混合振動隔離系統(tǒng)，為微納米測量提供一個良好的隔振環(huán)境，并進行了隔振系統(tǒng)被動隔振性能的測試分析與主、被動混合隔振系統(tǒng)的設計與仿真分析。 被動隔振系統(tǒng)的測試結果表明：兩級被動隔振的隔振性能明顯優(yōu)于單級被動隔振系統(tǒng)；不論是兩級隔振系統(tǒng)還是單級隔振系統(tǒng)，對高頻的振動具有明顯的隔離作用，但是對于低頻振動的隔離效果明顯不佳，甚至會有加劇的作用。 進行了混合隔振系統(tǒng)算法的研究，提出一套振動主動控