在線電解修整磨削分子動力學(xué)仿真研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、EIID(Electrolytic In-process Dressing)磨削技術(shù)是在電化學(xué)加工及電解磨削的原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一項磨削新技術(shù).該技術(shù)將砂輪修整與磨削過程結(jié)合在一起,在金屬基砂輪微量磨削作用進行磨削加工的同時,利用非線性電解作用對砂輪進行修整,從而避免砂輪的鈍化和堵塞現(xiàn)象,能夠高效地實現(xiàn)諸多難加工硬脆材料的超精密鏡面磨削.然而,由于對其機理認識不全面,限制了其加工精度的進一步提高.分子動力學(xué)仿真作為一種新型的計算機仿真

2、方法,可以對用傳統(tǒng)的理論分析和實驗觀察上都難以了解的現(xiàn)象做出微觀解釋.因此,本文將分子動力學(xué)仿真引進引入ELID超精密磨削機理研究,對單晶硅的磨削過程進行仿真實驗,以期對其加工機理進行全面認識,并根據(jù)實驗結(jié)果提出改善工藝的建議. 本文首先介紹了分子動力學(xué)仿真的發(fā)展進程和基本理論,重點涉及了其運動方程的建立,勢函數(shù)的選取以及仿真計算的過程.在此基礎(chǔ)上,建立了以單晶硅為工件材料的分子動力學(xué)仿真三維模型,對不同深度下的加工過程進行分析

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