激光修整超硬磨料砂輪測(cè)控系統(tǒng)及誤差分析研究.pdf

1、超硬磨料(金剛石和立方氮化硼)砂輪具有異常優(yōu)良的磨削性能，在精密、超精密磨削，難加工材料磨削，高效磨削和磨削自動(dòng)化中有廣泛的應(yīng)用前景，超硬磨料砂輪是未來砂輪的發(fā)展趨勢(shì)。由于超硬磨料砂輪本身特性，采用傳統(tǒng)的基于力的修整方法修整超硬磨料砂輪很難達(dá)到使用要求，砂輪的修整問題嚴(yán)重制約了超硬磨料砂輪的發(fā)展?；跓嶙饔玫男碌募す庑掬J和整形方法成為超硬磨料砂輪修整的有效手段，瓶頸問題在于整形精度的提高。在對(duì)激光燒蝕砂輪過程機(jī)理分析的基礎(chǔ)上，從光學(xué)、機(jī)

2、械、測(cè)量、控制的角度進(jìn)一步提高砂輪的整形精度，將有助于推動(dòng)超硬磨料砂輪的發(fā)展與應(yīng)用。 通過分析基于幾何光學(xué)理論的激光三角測(cè)量原理和影響控制精度的控制電路組成及原理，找出影響整形精度的因素，尋求有效提高精度的途徑。光三角測(cè)量裝置通過一維光電位敏檢測(cè)器PSD(PositionSensitiveDetector)檢測(cè)出待修整砂輪表面高低的位置信號(hào)并轉(zhuǎn)化成對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，分析計(jì)算測(cè)量誤差的來源并提出減少誤差的措施。分析產(chǎn)生位置—電壓非線性