MOCVD遠程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計.pdf

1、MOCVD是金屬有機物化學氣相沉積技術(shù)的簡稱，即通過MOCVD設(shè)備，在襯底上生長材料晶體的一種方法。用這種方法生長出來的晶體可用于各種芯片的制造。這是當前研制新型光電材料的重要方法之一。 目前，國內(nèi)的大多數(shù)MOCVD設(shè)備，其整個設(shè)備的操作均采用手工來完成，既影響工作效率，又會對整個工藝過程帶來很多誤差和不穩(wěn)定因素，直接造成生長器件的合格率低，質(zhì)量下降。其次，使用MOCVD設(shè)備的現(xiàn)場噪聲大，工作環(huán)境差，且MOCVD反應(yīng)周期比較長，

2、對人工進行設(shè)備操作極為不利。因此，為了提高整個設(shè)備操作的準確度，為了改善工作環(huán)境，需要利用自動控制設(shè)備對MOCVD設(shè)備的工作過程進行實時監(jiān)控和管理。而類似MOCVD自動控制的電路均由國外引進，成本很高。作者根據(jù)MOCVD工藝過程的特點，設(shè)計了一套以FPGA為核心的嵌入式監(jiān)控系統(tǒng)，實現(xiàn)對MOCVD工藝的監(jiān)控。 本系統(tǒng)由三個部分來完成，首先是數(shù)據(jù)采集壓縮部分，采集圖像，溫度，濕度，壓強等數(shù)據(jù)，并進行壓縮處理；其次是數(shù)據(jù)傳輸部分，利用