微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)探討.pdf

1、微電子工業(yè)的飛速發(fā)展，推動(dòng)了潔凈室設(shè)計(jì)技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求，微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合技術(shù)，只有充分了解微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理，才能做出優(yōu)秀的項(xiàng)目。論文以微電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)為研究內(nèi)容，具有重要的現(xiàn)實(shí)意義和很大的研究價(jià)值。 本文研究重點(diǎn)為微電子工業(yè)潔凈廠房公用設(shè)備專業(yè)的設(shè)計(jì)，主要含以下幾個(gè)方面： 1．微電子工業(yè)潔凈廠房的暖通設(shè)計(jì)。分析了凈化空調(diào)系統(tǒng)的三種送風(fēng)方式的

2、特點(diǎn)，并通過工程實(shí)例具體分析了集中送風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)過程。對于高級別的凈化廠房，提出了采用布置靈活的FFU送風(fēng)方式，該方式解決了傳統(tǒng)的送風(fēng)方式不能適應(yīng)工藝布局和凈化等級要求變化的問題。對于局部超高凈化區(qū)域，提出了采用SMIF微環(huán)境控制的新技術(shù)，極大降低了造價(jià)。對一般空調(diào)系統(tǒng)和廢氣處理也作詳細(xì)分析。 2．微電子工業(yè)潔凈廠房的給排水設(shè)計(jì)。提出了給排水設(shè)計(jì)的內(nèi)容和應(yīng)注意的問題。重點(diǎn)研究了純水的制備和輸送原理及方法，對純水制備采用的離子交換