輝光放電等離子體激發(fā)源驅(qū)動(dòng)控制電路設(shè)計(jì).pdf

1、輝光放電原子發(fā)射光譜儀（Glow Discharge Optical Emission Spectrograph，GD-OES）是近年來出現(xiàn)的用于物質(zhì)表面化學(xué)成分檢測(cè)的現(xiàn)代分析儀器。GD-OES能夠直接分析固體樣品，并且可以進(jìn)行樣品表面逐層分析，在電鍍層、超硬涂層、表面處理、金屬材料檢驗(yàn)等材料測(cè)試研究，以及產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量檢驗(yàn)、生產(chǎn)工藝參數(shù)控制、商檢等領(lǐng)域均有廣泛用途。目前輝光光譜儀生產(chǎn)廠商較少，我國尚無輝光放電原子發(fā)射光譜儀商品儀器生產(chǎn)廠

2、家。所以，對(duì)輝光光譜儀及其相關(guān)技術(shù)的研究很有必要。
　　輝光光譜儀激發(fā)源是輝光光譜儀技術(shù)研究的主要熱點(diǎn)之一。本工作對(duì)用于驅(qū)動(dòng)激發(fā)源的恒流源以及激發(fā)源的自動(dòng)控制電路做了相應(yīng)設(shè)計(jì)和研究。
　　本文詳細(xì)介紹了研制的GD-0411型輝光放電光譜儀等離子體激發(fā)源用高穩(wěn)定度直流高壓恒流源的電路和工作原理。其開路電壓為1.1KV，輸出電流為0～100mA連續(xù)可調(diào)，負(fù)載調(diào)整率和輸入電壓變化調(diào)整率均優(yōu)于0.05％。用研制的恒流源驅(qū)動(dòng)Grimm

3、型輝光放電室成功的濺射了磷銅片、鍍鋅板、標(biāo)鋼等樣品，測(cè)試出了在不同氣壓、電流工作條件下濺射速率為10nm/s～140nm/s，給出了采用Dektak8型表面形貌儀測(cè)量的濺射坑的表面形貌圖。實(shí)際測(cè)試了GBSA6800x標(biāo)準(zhǔn)鋼樣中的Cr、Cu、Al、W四種元素含量，測(cè)試結(jié)果相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD）均優(yōu)于2.5％。
　　本文還介紹了輝光放電光譜儀激發(fā)源的計(jì)算機(jī)控制方案，給出了自動(dòng)控制電路，介紹了編寫控制程序。實(shí)現(xiàn)了射頻功率源輸出功率的控制