新型非球面超精密加工裝置數(shù)控系統(tǒng)的研究.pdf

1、非球面光學零件以其優(yōu)良的光學性能在軍事、航天、航空、核能、天文以及重要的民用工業(yè)領域都有廣泛的需求，尤其是在現(xiàn)代國防工業(yè)中，隨著型號武器的發(fā)展，非球面光學零件的使用越來越廣泛，所需要的尺寸也越來越大，其表面質量及輪廓精度要求也越來越高。而國內非球面特別是大型非球面的超精密加工還是空白，還沒有形成系統(tǒng)的研究。因此，根據(jù)我國現(xiàn)有的技術水平，突破現(xiàn)有的工藝技術，開發(fā)新的高精度的非球面光學零件的加工方法，以及研制相應的超精密加工設備已成為勢在必

2、行的發(fā)展趨勢。
　　本課題旨在設計一種比較完善的大型非球面光學零件超精密加工裝置的數(shù)控系統(tǒng)，以實現(xiàn)光學非球面加工的低成本、高效率，并能滿足加工精度和表面質量的要求。本文首先綜述了國內外非球面超精密加工技術及超精密機床數(shù)控系統(tǒng)的發(fā)展概況。分析了本實驗室超精密機床非球面加工原理，在此基礎上應用機器人學中齊次坐標變換的方法建立了理想情況下超精密機床運動學模型，通過綜合分析超精密機床的運動誤差，給出了超精密機床的誤差補償模型。為了實現(xiàn)光學