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1、壓阻式壓力傳感器是利用半導(dǎo)體材料硅的壓阻效應(yīng)制成的傳感器,具有靈敏度高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)快,測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,工作溫度范圍寬,易于小型與微型化,便于批量生產(chǎn)與使用方便等特點(diǎn)。因此,它是一種發(fā)展迅速,應(yīng)用廣泛的新型傳感器。壓阻式壓力傳感器的一個(gè)主要問(wèn)題是溫度補(bǔ)償問(wèn)題,由于溫度會(huì)對(duì)傳感器的靈敏度及測(cè)量精度產(chǎn)生很大的影響,在相當(dāng)程度上限制了壓阻式壓力傳感器的使用,對(duì)傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償顯的尤為重要。 介紹了國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,分析了多種補(bǔ)償方法
2、,指出其利弊,總結(jié)補(bǔ)償思想,同時(shí)介紹了現(xiàn)代信號(hào)調(diào)理技術(shù)的發(fā)展。應(yīng)用信號(hào)調(diào)理芯片是現(xiàn)代常用的一種補(bǔ)償方法。本論文應(yīng)用智能化的模擬—數(shù)字混合信號(hào)調(diào)理技術(shù),采用MAX1457,開發(fā)出了一整套溫度補(bǔ)償系統(tǒng),經(jīng)調(diào)理后的傳感器綜合誤差不超過(guò)0.1﹪。MAX1457是一種專用傳感器信號(hào)調(diào)理芯片。此芯片集成化程度較高,可以補(bǔ)償硅壓阻式壓力傳感器的溫度誤差和非線性誤差。論文首先介紹了MAX1457芯片的結(jié)構(gòu)、及相關(guān)數(shù)學(xué)公式推倒,分析了芯片的設(shè)計(jì)思路,在結(jié)
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