基于LabVIEW的納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)控制.pdf

1、本研究為納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)各個(gè)工作部分分別提出了可行的控制方案，為新型的位移傳感器開(kāi)發(fā)出相應(yīng)的測(cè)量軟件。 本研究所針對(duì)的納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)須實(shí)現(xiàn)20mm×20mm×10mm的量程，以自行開(kāi)發(fā)的線性衍射光柵干涉儀(LinearDiffractionGratingInterferometer，LDGI)作為位移傳感器，以DVD測(cè)頭作為Z軸觸發(fā)探頭。 本研究以圖形化編程語(yǔ)言LabVIEW為軟件平臺(tái)，開(kāi)發(fā)出納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的軟件系

2、統(tǒng)，主要工作包括：LDGI信號(hào)的采集和處理、周期計(jì)數(shù)和信號(hào)細(xì)分、位移計(jì)算、X-Y平臺(tái)定位控制、DVD測(cè)頭的控制、Z軸位移測(cè)量及DVD測(cè)頭數(shù)據(jù)修正、測(cè)量數(shù)據(jù)處理以及典型的應(yīng)用程序開(kāi)發(fā)。 對(duì)于該納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，三軸的運(yùn)動(dòng)控制法則尤其重要，它保證了傳感器的正常工作。本研究采用傳統(tǒng)PID結(jié)合神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的控制算法實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)控制，并分析導(dǎo)軌的摩擦力特性，增加相應(yīng)的補(bǔ)償環(huán)節(jié)，改善位移信號(hào)的品質(zhì)。通過(guò)三種不同速度和分辨率的驅(qū)動(dòng)方式(A