超快電信號(hào)電光采樣測(cè)試系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著微納電子技術(shù)、光電子技術(shù)和微納加工技術(shù)的飛速發(fā)展,電子器件呈現(xiàn)出微型化和高速化的發(fā)展趨勢(shì).如何對(duì)這樣的超快器件,特別是在其工作于電路之中時(shí),進(jìn)行準(zhǔn)確的性能評(píng)價(jià),成為電子學(xué)發(fā)展道路上的主要挑戰(zhàn).傳統(tǒng)的電學(xué)測(cè)量方法受限于其固有的缺點(diǎn),無(wú)法勝任這一工作. 在這樣的背景下,本課題采用原子力顯微鏡針尖氧化方法加工超快光導(dǎo)開關(guān)作為超快電信號(hào)產(chǎn)生源,研究并構(gòu)建電光采樣系統(tǒng)原型以實(shí)現(xiàn)對(duì)其的測(cè)量,同時(shí)對(duì)系統(tǒng)的關(guān)鍵組成部分進(jìn)行了分析和測(cè)試,以期

2、發(fā)展出應(yīng)用于超快器件輸出性能描述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng). 本論文的主要研究?jī)?nèi)容和取得的研究成果如下: 1. 在查閱文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,對(duì)目前所應(yīng)用的各種超快電信號(hào)測(cè)量技術(shù)進(jìn)行了分析比較. 2. 通過(guò)分析光導(dǎo)開關(guān)的基本原理,設(shè)計(jì)超快光導(dǎo)開關(guān),包括襯底材料的選擇,具體結(jié)構(gòu)和加工方法的設(shè)計(jì)等；通過(guò)理論計(jì)算獲得超快光導(dǎo)開關(guān)的輸出特性. 3. 根據(jù)晶體光學(xué)原理,分析電光效應(yīng)產(chǎn)生的機(jī)理,并由此引申出電光采樣技術(shù)的原理,研究其主要評(píng)