螺桿真空泵轉(zhuǎn)子參數(shù)化設(shè)計(jì)及潤(rùn)滑系統(tǒng)開發(fā).pdf

1、近年來在半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝中，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵己經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。但由于螺桿泵加工難度大，我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。
　

2、　 針對(duì)當(dāng)前我國(guó)CAD技術(shù)應(yīng)用日益普及和推廣，而螺桿真空泵轉(zhuǎn)子CAD二次開發(fā)相對(duì)落后的現(xiàn)狀，木文利用Pro/Engineer提供的二次開發(fā)土具Pro/Toolkit和VisualC++6.的集成開發(fā)環(huán)境，對(duì)Pro/Engineer進(jìn)行二次開發(fā)，建立了一個(gè)快速的設(shè)計(jì)系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用三維造型技術(shù)與參數(shù)化設(shè)計(jì)相結(jié)合的方法，通過Pro/Toolkit應(yīng)用程序設(shè)計(jì)模塊，進(jìn)入螺桿真空泵轉(zhuǎn)子零件模型庫(kù)，對(duì)零件模型進(jìn)行調(diào)用，修改、再生等操作，從而實(shí)現(xiàn)

3、螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的快速設(shè)計(jì)。
　　 首先，在對(duì)螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的特點(diǎn)進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，利用Pro/Engineer的三維建模和參數(shù)化功能，設(shè)計(jì)初始零件模型，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子零件模型庫(kù)。
　　 其次，在研究了Pro/Engineer零件參數(shù)化設(shè)計(jì)方法及其特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子參數(shù)化設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，開發(fā)零件參數(shù)化設(shè)計(jì)的程序模塊。通過Pro/Toolkit程序設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)各個(gè)應(yīng)用程序模塊與Pro/Engineer系統(tǒng)的無縫集

4、成，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)系統(tǒng)。
　　 由于進(jìn)行螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)時(shí)的零件模型是通過調(diào)用零件庫(kù)中的模型再生得到的，避免了設(shè)計(jì)系列化零件模型的重復(fù)勞動(dòng)，提高了設(shè)計(jì)效率，使得螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)更為方便快捷。同時(shí)，該軟件系統(tǒng)的開發(fā)為商用CAD軟件在機(jī)械設(shè)計(jì)領(lǐng)域的應(yīng)用研究提出新的途徑。
　　 在立式真空泵中已部分存在結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠的螺旋供油式潤(rùn)滑系統(tǒng)。然而，關(guān)于這種潤(rùn)滑系統(tǒng)在以往使用情況下僅憑經(jīng)驗(yàn)而實(shí)踐還尚未見到相關(guān)理論闡述