凈房管理及靜電防護

1、1,,凈房操作及管理規(guī)范,2,主要內容,一 基本術語二 凈化的一些基礎知識三 凈化房的設計四 凈化房的管理五 靜電防護,3,1 凈房(Clean Room) 是指一個著重清潔管理,空氣中懸浮粒子濃度受控的 空間，在這空間中保證空氣中浮游微粒子滿足規(guī)定的凈化 等級，所使用的材料、藥液也要保持一定的清潔度，而且 根據(jù)需要，對溫度、濕度、壓力等環(huán)境條件加以監(jiān)督和管 理。,一 基

2、本術語,控制的因素包括溫度、濕度、壓力、清潔度、靜電對策、喚氣次數(shù)、吹出風速、噪音、保養(yǎng)頻度、作業(yè)衣等級、人員數(shù)。,4,2 潔凈度(Cleanliness) 指每立方英尺的空氣中含有大于0.5μm直徑的塵埃數(shù)量。,由于LCD（液晶顯示器）的盒厚間隙極其微小，只有4~8um（微米），而人的頭發(fā)絲直徑一般是幾十微米，空氣中能看到的粉塵一般也是十幾個微米以上，同時還有許多看不到的塵埃。如果在制作LCD時有一些看得見或看

3、不見的塵埃、雜質落在屏上，就會被污染，造成顯示缺陷。 這就決定了LCD的生產(chǎn)過程是必須在高度清潔的環(huán)境下進行.,5,3 高效空氣過濾器（HEPA） (High Efficiency Particular Air Filter) 在額定風量下，對粒徑大于等于0.3um粒子的捕集效率 在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。,4 自凈時間（Cleanliness Vec

4、overyly Characteristic) 潔凈室被污染后，凈化空調系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內潔凈度等級的時間。,6,5 空態(tài) (as-built) 設施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設備、 材料及人員。,6 靜態(tài) (as-rest) 設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應商同意的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。,6 動態(tài) (operational

5、) 設施及生產(chǎn)設備按規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。,7,二 凈化的一些基礎知識,大氣中的含塵濃度,8,9,10,灰塵的特征和來源,灰塵按形態(tài)分為：固態(tài)、液態(tài)、氣體和其他,其他：光、電磁噪聲、靜電、振動、細菌等 ；,氣體：煙、呼氣、各種溶劑；,液體：人的汗水、水、油等；,固體：人體的頭發(fā)、皮屑、衣服的纖維、美容的 面粉粉底、垃圾、粉末、各種材料的粉末；,11,灰塵的特征和來源

6、,灰塵的類別,按存在的位置劃分： 人體攜帶內部灰塵； 附著灰塵； 浮游灰塵； 大氣灰塵； 地面灰塵； 內墻壁灰塵； 摩擦灰塵；,12,灰塵的特征和來源,人體、衣物、設備、建筑物和外部空氣灰塵；,人體脫落微粒子：,21億個/日（大于0.3μm） 126億

7、個/周（工作日）,13,14,作業(yè)者的行動使污染增加程度,15,16,潔凈室粒子來源分析,17,三 凈化房的設計,18,在凈化室進行灰塵的收集是HEPA過濾器0.3μm以上的粒子捕集率為99.97%以上，使大多數(shù)粒子不能通過 。,凈化系統(tǒng),凈化系統(tǒng),19,凈化空氣的循環(huán)方式,20,水平層流,21,22,凈化空氣的循環(huán)方式,各種氣流方式比較,23,24,混合段：可根據(jù)需要安裝對開風量調節(jié)閥,使新風和回風按一定的比例在空調箱內混合,可供選擇

8、的控制方式有：手動、氣動和電動三種型式。 為了配合空調系統(tǒng)集中控制的需要,空氣處理機可以配置比例式電動風閥并可 實現(xiàn)系統(tǒng)控制。,冷卻段：表冷器安裝在冷凝水盤上,當表冷器呈雙層布置時,上層的表冷器也可配有一個冷凝水盤,避免上層表冷器的冷凝水流到下層表冷器的翅片上,影響熱交換性能。,,加熱段：MDM空氣處理機可配置熱水加熱盤管、蒸汽加熱盤管及電加熱功能段。,,,,加濕段：通?？諝馓幚頇C的加濕形式有：干蒸汽加濕、高壓噴霧加濕、濕膜加濕器和電極

9、式加濕, 也可根據(jù)用戶的需要選擇其它的加濕形式。,25,風機段：風機采用前傾，后傾，機翼型三種型式, 風機配有進口軸承,風機和電機安裝在共 用的底座上并配有優(yōu)質的彈簧減震器;出風口和箱體之間用帆布連接。從各個方面消除震 動和噪音。使風機運轉更為寧靜。,阻性消聲段：配阻性消聲器并可根據(jù)消聲量的需要來選擇消聲器長度。,過濾段：根據(jù)除塵的要求, 空氣處理機可配置板式過濾器和袋式過濾器,也可根據(jù)用戶的需要選擇其它型式的過濾器。,26,四 凈化房

10、的管理,凈房里的粒子是肉眼看不見的，用手摸不著的，因此也是最危險的?。。?維持凈化潔凈度的4原則·     入室原則：防止帶進灰塵顆粒：往凈化間供潔凈的空氣，配 置潔凈設備、材料、安排適當人員不帶入灰塵。 ·     作業(yè)原則：防止產(chǎn)生灰塵顆粒：穿無塵服、在

11、設備扣蓋，最 大限度抑制灰塵的發(fā)生并去除。·     空調原則：極力排除微粒子 ·     清掃原則：杜絕微粒子的沉積，防止留存灰塵顆粒并及時清 掃：對于已發(fā)生的灰塵顆粒，用氣流抑制或者以

12、 適當排氣來排除產(chǎn)生的灰塵。,27,入室原則,1） 進入凈化房工作的人員應符合下述條件： ①無傳染性疾病。 ②對化學藥品，凈化房使用物品無過敏者。 ③身體分泌物不多者，如手指油、出汗等。 ④皮膚屑、頭皮屑、體毛脫落不多者。 ⑤沒有神經(jīng)過敏癥，對閉所恐懼者。 ⑥沒有抓、擦頭皮、皮膚等不良習慣者。 ⑦進行凈化專業(yè)知識的教育，培養(yǎng)遵守凈化規(guī)定

13、的習慣，保持個人潔凈衛(wèi)生，掌握潔凈服更換程序。,28,進出時的注意事項 a）  限制凈化室的出入次數(shù)，有必要設定最小人員入室次數(shù)； 在高潔凈區(qū)內人數(shù)不能超過規(guī)定數(shù)，因為人是潔凈區(qū)的主 要發(fā)生源 b）  以下人員的入室有必要限制： l   未經(jīng)過凈化間管理人員許可的外部人員 l  

14、60; 沒有著裝無塵服者 l    因激烈運動而留汗者 l    穿著毛料之類衣服者 l    吸煙者未經(jīng)漱口立即入室者,29,進出潔凈室的流程,30,,進入凈化間 為了維持潔凈度，進入凈化間者應最大限度抑制外部污染進入凈化間。 a）由外部進入凈化間建筑物時，換室內專用鞋，鞋箱裝鞋

15、分 室內和室外； b）凈化間入口處換鞋 在凈化間入口處室內專用鞋放在鞋箱，鞋箱每周2次清掃； c）更衣室 脫工作服或外套掛在專用架上； d）穿無塵服 在更衣室穿無塵服，按穿衣順序穿，不能接觸地面和其他器具； 穿無塵服后照鏡子確認狀態(tài)，特別是頭發(fā)不能漏出帽子外面； 進入凈化區(qū)的人員必須穿戴專用的凈化服

16、。,31,e ）洗手或洗手套手是最大的污染源，必須洗凈l  用自動供水器洗凈l  用干凈水洗手l  使用裝有HEPA過濾器手干器f）穿無塵服注意事項l  戴口罩，口和鼻子完全蓋住l  系好無塵鞋帶 穿完無塵服在鏡子前確認穿衣狀態(tài)（手腕部位系緊、是否露出頭發(fā)、戴口罩狀態(tài)）,32,,無塵服 a） 

17、; 衣服本身產(chǎn)生的塵粒子很少 b）  人體發(fā)生的塵粒子不能從衣服內向外擴散 c）  衣服上不易沾污染物 d）  低溫低濕度的情況下也有良好的除靜電性能 e）  有良好的耐藥性能 f）   洗滌后變形量小 g）  穿著感覺舒適,33,h）  無塵服的洗滌周期為1周1次 l    選定無

18、塵服洗滌管理者 l 洗滌時全部都洗，全體一次全部更換著裝（必要時按工序劃分） l  設立洗滌日志 l  無塵服的洗滌壽命一般為24次 l  洗滌后在更換著裝前，負責洗滌的人員對無塵服確認縫紉狀態(tài)，對異常進行修補 l 必須按規(guī)定穿戴潔凈服，穿潔凈服不能出凈化區(qū)。,34,,風淋室使用方法 a） 風淋之前，在門外踩粘塵不干膠墊上，除去無塵鞋上的灰

19、塵后進風淋室； b）  關好風淋室門，按開關后在風中舉起雙手身體左右旋轉除掉沾在無塵服上的灰塵； c）  風淋時間為30±5秒鐘，然后停留3~5秒鐘后，開門出去在關好門； d）  由人產(chǎn)生的污染最大，所以風淋必須按規(guī)定的方法執(zhí)行。,35,退室方法 a）  在更衣室內，脫無塵服掛在專用掛衣架上，無塵鞋脫下來把拉鏈合上，從上部開始卷到腳脖子處疊進鞋中后，

20、放在鞋架上保管； b）  在使用的手套脫后為了下次再用，可以放在無塵服后衣袋里或與無塵服一起掛在衣架上。 c）  在一次更衣室著裝后，在更鞋室穿好鞋離開。,36,e）皮制品等,凈化間嚴禁帶入的物品,a）未經(jīng)過規(guī)定的清掃過程的材料、工裝、備品及測量 儀器等,b）一般的紙張和非凈化間用紙張,c）鉛筆、橡皮、墨水和鋼筆等,d）個人用品（煙、打火機、飲品、食品、口香糖、皮手套、手絹、手紙、化妝

21、品、筆記本、裝飾品等）,37,在凈化間用品的使用 a）  在凈化室必須使用無塵紙 b）  告示板類減少到最低程度 c）  記錄用塑料圓珠筆 d）  備品類盡可能使用不銹鋼制品，其他材質使用時使用要表面處理，構造上盡可能簡單，與其他物品接觸磨損要小，棱角最好變成圓角 e）  桌子類不要抽屜和放腳的橫條,38,用品的出入方法 a）要搬入凈化間

22、的各種用品必須洗凈后才可以搬入 b）洗凈的方法：水洗、IPA洗、酒精洗、空氣吹掃等 方法 c）搬入品已經(jīng)洗凈后要保管，放入密閉的容器進行 保管 d）物品有包裝的要除掉包裝物 e）搬入大物品時可能影響氣流狀態(tài)和潔凈度，盡可 能在作業(yè)中不搬入 f） 搬入的物品要經(jīng)過風淋吹掃才能搬入 夾具等用酒精清洗后搬入 g)

23、 不同級別的凈化空間盡量避免直接流通， 通過風淋室、傳遞窗等進行緩沖。,39,作業(yè)原則：,在凈化間遵守的事項 a）  只走規(guī)定的通道，限制人員出入 b）  嚴禁跨過設備上面 c）  要高潔凈度的設備設置BOOCH來抑制氣流 d）  將廢物收集箱盡可能放在離設備遠處而且扣好蓋子 e）  防止傳遞窗兩面同時開 f）

24、60;  盡可能減少打開設備的門和蓋次數(shù) g）  不許坐在凈化房地板上 h）  潔凈室內不能跑動，鞋不能拖地走路，避免帶起塵埃。 I) 操作動作要規(guī)范，不做無關動作，不講與作業(yè)無關話。 J) 在凈化房內不能打鬧、喧嘩。,40,空調原則,嚴禁在送風口和回風口處放置物品，擾亂氣流的流向；定期更換高效過濾器，保證其過濾效果；定期對凈化室進行檢漏，防止外部顆粒進入；

25、保證符合規(guī)定的換氣次數(shù)；定期測量潔凈度，每周一次，檢查高效過濾器有無泄露,室內所有物品數(shù)量都應限制在最少的限度，并對物品的放置做出規(guī)定，盡量減少空氣亂流，,41,清掃原則,清掃凈化室 在凈化室一部分顆粒隨氣流排出到室外，剩下的部分落到墻 壁、設備儀器表面，這些粒子隨室內條件的改變、氣流的沖 突，再一次飛散，所以產(chǎn)生的粒子要定期清掃清除。 房間清掃

26、 清掃用具： a）  吸塵器或真空吸塵器（工作間專用）。 b）  無塵紙（布）、易拖拉拖布。 c）  粘塵滾 d）  塑料桶（優(yōu)質） e）  專用鋁合金梯子,42,,清洗劑： a）  水（非潔凈區(qū)使用） b）  純水（潔凈區(qū)使用） c）  含10%洗滌劑的水溶液

27、 d）  乙醇或丙酮 清掃對象： a）  儀器 環(huán)境（墻壁、地面、天棚、門窗、桌椅等）,清掃方法： a）  儀器清掃詳見使用說明書。 b）  環(huán)境清掃方法：采用吸塵與擦拭的方法，自上而下，自左而右或自右向左，單方向擦拭，不可來回擦拭。,43,,凈化房清掃方法示例,44,清潔管理技術,45,46,5.1、定義：l 

28、0;什么是靜電？ 絕緣體與絕緣體相互進行摩擦，分開后將在其表面附著大量正或負離子，這些在絕緣體中不能流動的電荷就叫做靜電。例如：膠尺在與干布摩擦之后能夠吸引紙屑；冬天脫毛衣聽到之聲音及看到之火花均為靜電現(xiàn)象。l   什么是靜電泄放？ 我們通常所說的ESD（Electrostatic Discharge）即靜電泄放是指靜電積累到一定電勢后對電子器件造成的一種快速放電現(xiàn)象。l&#

29、160; 什么是靜電敏感器件？ ESDS(Electrostatic Discharge Sensitive components)即靜電敏感器件是指受到一定能量的靜電泄放后將會引起暫時性或永久性損傷的電子器件。,五 靜電防護,47,5.2 靜電危害 當靜電量大于100V便有機會使LCM 內之電子零件燒壞。不同類型的半導體器件耐靜電放電擊穿的靈敏度不一樣，列表如下：

30、,,48,3.1 生產(chǎn)車間建筑裝修材料采用高阻材料如建筑裝修材料導電性能差，某種原因產(chǎn)生靜電后不容易通過它們向大地泄漏，造成靜電的積聚。,3.2 人體靜電穿高電阻率的拖鞋（如聚乙烯、合成革、橡膠等制成）、高纖維襪子，在地面（如聚氨酯彈性地面）上走路時，鞋底和地面不斷地緊密接觸和分離，人體各部分也有活動和摩擦，不論是快走、慢走、小跑，都會產(chǎn)生靜電，這就是所謂步行帶電。由于鞋子和地面又都是絕緣的，產(chǎn)生的靜電不容易泄漏，就會逐漸積累。一般

31、說來，穿塑料制品的鞋在絕緣地面上走路可使人帶上2~3KV的靜電電壓。不僅如此，人體先在用絕緣材料做成的座位（例如人造革椅子）上活動后起立，人體穿的工作服與椅子面接觸后分離，也會產(chǎn)生靜電。例如，穿尼龍羊毛混紡工作服的人從人造革椅子上起立時，可產(chǎn)生近萬伏的高壓靜電。此外，人在脫衣時，或手拿干布去擦絕緣工作臺面時，都會起電。人體靠近其它帶電體時，也會感應起電。人體的靜電電壓如果消不掉，而去接觸IC 片，就可能在不知不覺之中造成IC 的擊穿。,

32、5.3、 靜電產(chǎn)生,49,3.3 空氣調節(jié)和空氣凈化引起的靜電 由于LCM 生產(chǎn)要求在一定溫、濕度條件下進行，所以要進行空氣調節(jié)。降濕的空氣要經(jīng)過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器和風管，送入車間。一般總風管風速為8~10m/s。風管內壁涂油漆。當干燥的空氣和風管、干燥的空氣和過濾器作相對運動時，都會產(chǎn)生靜電。3.4 搬運工具和包裝材料 運送半成品時使用的托盤如是丙烯或聚氯乙烯制成的，或發(fā)泡膠、或白色

33、海綿，也會產(chǎn)生靜電。LCM 成品在包裝運輸過程中，器件與包裝塑料紙之間的摩擦起電，也是不容忽視的靜電起電因素之一。不少IC 在運輸過程中莫明其妙地擊穿，可能就是這種靜電在作怪,50,5.4、 靜電防護4.1 工程設計中實施防靜電措施如可能的話，室內裝修材料采用靜電良導體材料，特別是地板。將生產(chǎn)設備、桌子臺面全部接地4.2 采用各種措施，消除人體靜電如穿上防靜電工衣(工褲)，并戴上防靜電工帽、手鏈、手帶等。,,51,4.3 進行溫

34、濕度管理 靜電與濕度有非常靈敏的關系，見下表。提高濕度能大大降低靜電的積累，但LCD/LCM生產(chǎn)不可以在高濕度條件下進行。因此兼顧到兩方面要求，將濕度定為60%左右是比較合理的,,,,52,4.4 在LCM及帶靜電敏感器件生產(chǎn)的各個工序使用防靜電用品在生產(chǎn)過程的各個工序，LCM 產(chǎn)品（半成品及成品）均應用黑紙板上面加一層紅色珍珠棉盛放。所有盛放物料的小盒均應采用黑色防靜電盒，它不但不會產(chǎn)生靜電，還會有效地阻止靜電進入。

35、搬運或暫存用黑膠箱，如蓋上箱蓋，將有很好的屏蔽作用，它可以很好地阻止一切外來靜電流入到LCM 產(chǎn)品中。,53,4.5 采用安全運輸措施 LCM成品要用防靜電紅色氣泡袋包裝，并將封口封好；或采用防靜電吸塑盤。如為PCBA則必須用錫箔紙一個個包扎好，然后再整齊放入黑膠箱內運輸。,54,4.7 防靜電運輸帶防靜電運輸帶可安裝放電用掃帚，使運輸帶所帶有之靜電除去。4.8 所有使用工具及生產(chǎn)測試儀器設備均采用接地裝置電烙鐵、