透明導(dǎo)電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新應(yīng)用

1、透明導(dǎo)電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新應(yīng)用(摘要：介紹了幾鐘多功能的ITO透明導(dǎo)電玻璃和多層膜系的鍍膜玻璃在顯示器件、建筑和汽車等領(lǐng)域的應(yīng)用。指出拓展ITO膜應(yīng)用范圍的途徑之一是制備成新的多層膜系。)開拓透明導(dǎo)電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新的應(yīng)用領(lǐng)域是國內(nèi)外真空廠家追求的目標(biāo)之一。現(xiàn)在重點(diǎn)介紹它們在汽車、顯示和建筑領(lǐng)域的應(yīng)用。1.多功能的ITO（氧化銦錫）透明導(dǎo)電玻璃傳統(tǒng)的ITO透明導(dǎo)電玻璃用于液晶顯示器的電極已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。另外，它還

2、具備其它的光、電特性：增透、抗反射、抗靜電、抗紫外、抗紅外和電磁干擾的屏蔽功能。這對大規(guī)模生產(chǎn)ITO膜的沉積工藝提出了更高的要求。例如，大面積23平方米、低電阻、小于150μΩcm，室溫或低于15℃的條件下沉積、沉積速率大于1μmmm，膜厚均勻沉積到性的相對誤差小于5%，甚至低于2%。除了能夠沉積于玻璃而外，還應(yīng)能沉積到有機(jī)色濾波器、聚酯材料、碳聚合物等塑料襯底表面上。ITO透明導(dǎo)電玻璃已成功用于扭曲型、超扭曲型、薄膜晶體管型液晶顯示器

3、。正在擴(kuò)展應(yīng)用于光致發(fā)光液晶顯示器、電致發(fā)光燈和顯示器、反射色液晶顯示器、等離子體顯示板、聚合物彌散型液晶光開關(guān)器、懸浮粒子器件、電致變色顯示器等器件。聚合物彌散型液晶是在兩塊ITO透明導(dǎo)電玻璃板之間插進(jìn)一塊10μm厚的塑料板，其內(nèi)彌散分布呈微米尺寸的向列型液晶滴。不通電時，液晶滴取向無序呈乳白色失透狀。通電后，液晶按電場方向排列，使光通過并呈透明態(tài)，或改變液晶分子相對于電場的取向，從而改變透射光強(qiáng)度。據(jù)此，可以開發(fā)可開關(guān)窗，用于辦公室

4、、會議室、廳廊的玻璃壁，也可以用于家庭臥室、浴室的玻璃壁，還可開發(fā)出快速（1~3ms）、低電壓（10V）的聚合物彌散型液晶，以滿足快速光開關(guān)和投影電視的需要。還可以開發(fā)有顏色和圖形的全彩色的聚合物彌散型液晶，即改變所加電壓和頻率，使其呈現(xiàn)各種顏色。懸浮粒子器件是在兩塊ITO透明導(dǎo)電玻璃板之間充入液晶微滴，液滴內(nèi)包含細(xì)小顆粒。不通電時，細(xì)小顆粒取向無序。由于光極化顆粒的光吸收特性，器件呈深藍(lán)色。通電后，顆粒取向一致，使視場變得清徹透明。當(dāng)

5、電壓改小或斷開，器件又回到深藍(lán)色。據(jù)此原理，可以開發(fā)智能窗、平板顯示器、自變暗的汽車后視鏡、可調(diào)光透射的汽車遮陽板、護(hù)目鏡、太陽鏡、視頻顯示終端的對比度增強(qiáng)濾光器等。近年來，ITO透明導(dǎo)電玻璃的一個重要應(yīng)用領(lǐng)域是作為電磁干擾屏蔽和屏蔽窗。前者使陰極射線管發(fā)射的電磁波場強(qiáng)大大衰減，以便獲得良好的工作環(huán)境。后者一方面不受外來的電磁干擾，又不會使室內(nèi)的機(jī)要信息的電磁波向外泄露。這在未來的電子戰(zhàn)、信息戰(zhàn)中是十分重要的。近年來，發(fā)現(xiàn)ITO膜與Ti

6、O2膜有相同的功能。作為光催化膜，在紫外光的照射下，可以分解含有碳?xì)浠衔锏挠卸練怏w，減少污染，用于環(huán)保工業(yè)中。ITO透明導(dǎo)電膜已在各種平板顯示器的電阻型觸摸屏中有了廣泛的應(yīng)用。2.多層膜系的應(yīng)用利用同樣的設(shè)備和膜層制備方法對膜層或膜系進(jìn)行改變可以制成多種新型的透明導(dǎo)電玻璃。例如，采用玻璃ITOSiO2(TiO2)SiO2、玻璃TiNXOYSiNXSiO2膜系以后，可以制成抗反射、抗靜電膜透明導(dǎo)電玻璃。這種玻璃可以用于陰極射線管和平板顯

7、示器件的監(jiān)視器、彩色電視機(jī)和高分辨率彩電的屏罩、照相框玻璃、太陽能電池板、光學(xué)儀器、眼鏡鏡片、汽車眩光過濾器、汽車表盤和顯示板?？梢苑謩e起到增透、防眩、減反射、減輕肉眼疲勞、增強(qiáng)視覺、提高人機(jī)對講效率、減少電磁幅射的作用。如果采用CeO2TiO2TiO2二層外層和耐磨的內(nèi)層TiO2SiO2可以減少氧化，形成抗紫外膜系。這類膜系的玻璃主要用于汽車，可以減少車內(nèi)織物、材料的褪色和老化。如果采用玻璃SnO2(10~100nm)CrNx(FeN

8、x、AlNx)(10~100nm)SnO2膜系可以制成陽光控制膜，沉積到雙窗中外窗內(nèi)玻璃面。形成蘭色、蘭綠、黃等顏色。主要用于建筑玻璃，起到美觀和節(jié)能的作用。如果采用玻璃SnO2AgZno、玻璃TiO2AgTiO2、玻璃SnO2(40nm)Ag(10nm)Nicro2(1.5nm)Sn(40nm)這樣的膜系，將其沉積到雙窗中內(nèi)窗的外玻璃器，就會作成目前在國外十分流行的低幅射率玻璃。可以大大降低空調(diào)的能耗。ITO透明導(dǎo)電玻璃的應(yīng)用范圍正在