第五章-電子圖像的成像理論

1、第五章,電子圖像的成像理論,像管光陰極發(fā)出的電子圖像是通過電子光學系統(tǒng)的作用聚焦成像到輸出像面上并完成電子圖像的能量增強。電子光學系統(tǒng)也稱為電子透鏡。 電子光學理論中，研究電子束聚焦成像和偏轉(zhuǎn)，起電子透鏡和電子棱鏡作用的分支稱為弱流細束電子光學，由于其分析聚焦成像方式同幾何光學相似，故也稱之為幾何電子光學。,它的主要研究內(nèi)容包括：解決電子光學系統(tǒng)中場的分布(等價于幾何光學中的折射率分布)問題；研究電子的運動規(guī)律和運動軌跡；討論理

2、想成像和各類特殊類型的電子透鏡等及其像差理論。,討論和研究弱流細束電子光學條件如下： ① 所研究的場為靜場，即場與時問無關或隨時問變化甚慢，亦即靜場只是空間坐標的函數(shù)； ② 在真空中； ③ 忽略電子束本身的空間電荷(或電流)分布對場的影響； ④ 電子速度遠小于光速，即不考慮相對論修正。,5.1 電子光學的基本方程,解釋各種電子光學現(xiàn)象及進行電子光學系統(tǒng)的計算和設計，必須了解電子在電磁場中的運動

3、規(guī)律。要研究電子在由電子光學系統(tǒng)確定的電、磁場中的運動規(guī)律，又必須知道電、磁場的具體分布，以求得電子光學折射率的分布，從而決定該系統(tǒng)的電子光學折射性質(zhì)和聚焦成像性質(zhì)。,電子光學系統(tǒng)中的場分布具有比較復雜的形式，是與空間坐標有關的非均勻場。求解電、磁場的場分布問題，在數(shù)學上歸結(jié)為用電動力學和數(shù)學物理方法求解場所滿足的偏微分方程的邊值問題。但獲得解析解的情況是有限的，大多數(shù)情況是應用計算機進行數(shù)值計算或?qū)嶒灧椒▉泶_定場的分布。,電磁場理論是

4、以麥克斯韋方程為基礎的，即：,當所討論的空間沒有空間電荷和空間電流存在時，上面二式化為,可見，靜電和靜磁現(xiàn)象是彼此獨立的，可分別討論。,從(5—3)式中的第一式可見，E是無旋場，因此可用電位函數(shù) V來描述，,這說明在沒有空間電荷時 V滿足拉普拉斯方程。,而由(5-4)式的第二式可知 B是無源場。因此可引入矢量磁位函數(shù) A，其定義為由電動力學可知，矢量磁位函數(shù) A只是它的無源部分確定的，而其無旋部分可以任意選。為此，可令 A的無旋部分

5、為零而只有無源部分，亦即 A滿足下述附加條件,此即在沒有自由電流的靜磁場中矢量磁位函數(shù) A必須滿足的二階偏微分方程。,5.2 旋轉(zhuǎn)對稱場中的場方程,5.2.1旋轉(zhuǎn)對稱靜電場如果電極系統(tǒng)對某一軸具有旋轉(zhuǎn)對稱狀，例如由同軸的雙圓筒組成的如圖5—l所示系統(tǒng)，在兩個圓筒上加上不同的電位，所形成的靜電場即為旋轉(zhuǎn)對稱靜電場，或稱為軸對稱場。,在圓柱坐標系中，拉普拉斯方程為,這類方程可通過第一類邊界條件(即陽極電位分布)求解。在沒有點

6、電荷即沒有奇異點的空間里， V是解析函數(shù)，故可以將之展開為冪級數(shù)，如,利用因 r≠0而必須令各系數(shù)等于零的條件，最后可得到,稱為謝爾赤公式,在大多數(shù)電子光學問題中，主要是考慮近軸的情況相應的場強分量為,在近軸區(qū)，通常略去高次冪項，作用在電子上的電場力,由此可知，電子所受的徑向力與 r及 φ’’(z)成正比，受力的方向由 φ’’(z)的符號決定。若φ’’(z)＞0，則徑向力 Fr的方向與 r的方向相反，指向?qū)ΨQ軸，電子受到會聚作用；

7、反之， φ’’(z)＜0，則電子所受到的徑向力是離軸的，電子受到發(fā)散作用。因此， φ’’(z)的正或負是判別旋轉(zhuǎn)對稱靜電場對電子是起會聚作用還是起發(fā)散作用的依據(jù)，也是靜電透鏡的本質(zhì)所在。,5.2.2 旋轉(zhuǎn)對稱靜磁場,旋轉(zhuǎn)對稱靜磁場是電子光學系統(tǒng)中廣泛應用的磁場，而且是最早知道具有電子光學聚焦成像性能的場。 由于矢量磁位 A只是作為運算工具而引入的輔助概念，故通常在圓柱坐標系中，選擇,拉普拉斯方程為,同靜電場情況類似，在 r很小

8、的近軸范圍內(nèi)，,由此可知，在近軸區(qū)軸向磁場 Bz(z，r)的大小就是 B(z)，而與 r無關；徑向磁場 Br(z，r)的大小與離軸距離 r成正比。另外，由于 r很小，故 Br<<Bz，這樣，近軸區(qū)的磁力線可近似地看做與 z軸平行而類似于長螺線管內(nèi)的縱向磁場。顯然，這種磁場對電子束具有聚焦的作用。,磁場對電子的作用力由洛倫茲公式?jīng)Q定,式中 θ為電子在坐標θ方向上的速度分量?？梢姶艌鲈趓方向?qū)﹄娮拥淖饔昧εcr成正比，這是磁場使電

9、子束能夠理想聚焦成像的條件。,5.3.1 電子在電磁場中的運動方程,運動速度為 v的電子在電、磁場同時存在的復合場中所受的作用力為,在直角坐標系中,這表明磁場所產(chǎn)生的力只能改變電子運動的方向而不能改變電子的能量，電子在電子光學系統(tǒng)中獲得能量來源于電場。,可見，當電子在靜電和靜磁場中運動時，電子的動能和位能之和保持不變。,這里的eV。即為以電子伏特表示的電子初能量的等效電位能。 V。則等價于靜止的陰極電子獲得初始速度v。所需的加速電位，稱