2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、這里有一份銅線和金線的詳細(xì)試驗(yàn)結(jié)果與分析1引言絲球焊是引線鍵合中最具代表性的焊接技術(shù),它是在一定的溫度下,作用鍵合工具劈刀的壓力,并加載超聲振動(dòng),將引線一端鍵合在IC芯片的金屬法層上,另一端鍵合到引線框架上或PCB便的焊盤上,實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部電路與外圍電路的電連接,由于絲球焊操作方便、靈活、而且焊點(diǎn)牢固,壓點(diǎn)面積大(為金屬絲直徑的2.5-3倍),又無方向性,故可實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)化焊接[1]。絲球焊廣泛采用金引線,金絲具有電導(dǎo)率大、耐腐蝕、韌性好

2、等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于集成電路,鋁絲由于存在形球非常困難等問題,只能采用楔鍵合,主要應(yīng)用在功率器件、微波器件和光電器件,隨著高密度封裝的發(fā)展,金絲球焊的缺點(diǎn)將日益突出,同時(shí)微電子行業(yè)為降低成本、提高可靠性,必將尋求工藝性能好、價(jià)格低廉的金屬材料來代替價(jià)格昂貴的金,眾多研究結(jié)果表明銅是金的最佳替代品[2-6]。銅絲球焊具有很多優(yōu)勢:(1)價(jià)格優(yōu)勢:引線鍵合中使用的各種規(guī)格的銅絲,其成本只有金絲的13-110。(2)電學(xué)性能和熱學(xué)性能:銅的電導(dǎo)

3、率為0.62(μΩcm)-1,比金的電導(dǎo)率[0.42(μΩcm)-1]大,同時(shí)銅的熱導(dǎo)率也高于金,因此在直徑相同的條件下銅絲可以承載更大電流,使得銅引線不僅用于功率器件中,也應(yīng)用于更小直徑引線以適應(yīng)高密度集成電路封裝;(3)機(jī)械性能:銅引線相對金引線的高剛度使得其更適合細(xì)小引線鍵合;(4)焊點(diǎn)金屬間化合物:對于金引線鍵合到鋁金屬化焊盤,對界面組織的顯微結(jié)構(gòu)及界面氧化過程研究較多,其中最讓人們關(guān)心的是“紫斑“(AuAl2)和“白斑“(Au

4、2Al)問題,并且因Au和Al兩種元素的擴(kuò)散速率不同,導(dǎo)致界面處形成柯肯德爾孔洞以及裂紋。降低了焊點(diǎn)力學(xué)性能和電學(xué)性能[7,8],對于銅引線鍵合到鋁金屬化焊盤,研究的相對較少,Hyoung-JoonKim等人[9]認(rèn)為在同等條件下,CuAl界面的金屬間化合物生長速度比AuAl界面的慢10倍,因此,銅絲球焊焊點(diǎn)的可靠性要高于金絲球焊焊點(diǎn)。1992年8月,美國國家半導(dǎo)體公司開始將銅絲球焊技術(shù)正式運(yùn)用在實(shí)際生產(chǎn)中去,但目前銅絲球焊所占引線鍵合

5、的比例依然很少,主要是因此銅絲球焊技術(shù)面臨著一些難點(diǎn):(1)銅容易被氧化,鍵合工藝不穩(wěn)定,(2)銅的硬度、屈服強(qiáng)度等物理參數(shù)高于金和鋁。鍵合時(shí)需要施加更大的超聲能量和鍵合壓力,因此容易對硅芯片造成損傷甚至是破壞。本文采用熱壓超聲鍵合的方法,分別實(shí)現(xiàn)Au引線和Cu引線鍵合到Al1%Si0.5%Cu金屬化焊盤,對比考察兩種焊點(diǎn)在200℃老化過程中的界面組織演變情況,焊點(diǎn)力學(xué)性能變化規(guī)律,焊點(diǎn)剪切失效模式和拉伸失效模式,分析了焊點(diǎn)不同失效模式

6、產(chǎn)生的原因及其和力學(xué)性能的相關(guān)關(guān)系。2試驗(yàn)材料及方法鍵合設(shè)備采用K&S公司生產(chǎn)的NuTek絲球焊機(jī),超聲頻率為120m赫茲,銅絲球焊時(shí),增加了一套CopperKit防氧化保護(hù)裝置,為燒球過程和鍵合過程提供可靠的還原性氣體保護(hù)(95%N25%H2),芯片焊盤為Al+1%Si+0.5%Cu金屬化層,厚度為3μm。引線性能如表1所示。球焊點(diǎn),但此時(shí)金球焊點(diǎn)內(nèi)部出現(xiàn)大量Kirkendall空洞及裂紋,導(dǎo)致其電氣性能急劇下降,而銅球焊點(diǎn)沒有出現(xiàn)空

7、洞及裂紋,其電氣性能較好。對于金球焊點(diǎn),剪切實(shí)驗(yàn)共發(fā)現(xiàn)了5種失效模式:完全剝離(沿球與鋁層界面剝離)、金球殘留、鋁層斷裂、球內(nèi)斷裂和彈坑,圖5顯示了金球焊點(diǎn)剪切失效模式隨老化時(shí)間的變化,未老化時(shí),AuAl為還沒有形成金屬間化合物,剪切失效模式為完全剝離,由于AuAl老化過程中很快生成金屬間化合物,失效模式在老化初期馬上發(fā)展為以鋁層剝離為主:隨后,鋁層消耗完畢,老化中期失效模式以金球殘留為主,此時(shí)斷裂發(fā)生在金屬間化合物與金球界面;老化10

8、0天以后金球內(nèi)部斷裂急劇增加,成為主要失效模式,導(dǎo)致剪切斷裂載荷降低。對于銅球焊點(diǎn),剪切實(shí)驗(yàn)共發(fā)現(xiàn)了4種失效模式:完全剝離、銅球殘留、鋁層斷裂和彈坑。圖6顯示了銅球焊點(diǎn)剪切失效模式隨老化時(shí)間的變化,由于銅球焊點(diǎn)200℃時(shí)生成金屬間化合物很慢,因此其剪切失效模式在老化較長時(shí)間內(nèi)以完全剝離為主:彈坑隨老化進(jìn)行逐漸增多,尤其老化81天后,應(yīng)力型彈坑大量增加,導(dǎo)致剪切斷裂載荷下降,圖7所示為彈坑數(shù)量隨老化時(shí)間變化,需要說明的是彈坑包括應(yīng)力型彈坑

9、和剪切性彈坑,應(yīng)力型彈坑為剪切實(shí)驗(yàn)之前就已經(jīng)存在的缺陷,而剪切型彈坑是由于接頭連接強(qiáng)度高,在剪切實(shí)驗(yàn)過程中產(chǎn)生,因此只有應(yīng)力型彈坑是導(dǎo)致剪切斷裂載荷下降的原因,相對金球焊點(diǎn),銅球焊點(diǎn)剪切出現(xiàn)彈坑較多,主要是因?yàn)殂~絲球焊鍵合壓力比金絲球焊大。2.3金、銅絲球焊拉伸斷裂載荷和失效模式圖8顯示了金、銅絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化時(shí)間的變化,金絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化時(shí)間變化不大,拉伸斷裂模式以第一焊點(diǎn)和中間引線斷裂為主。銅絲球焊拉伸斷裂載荷隨老化

10、時(shí)間不斷下降,由于銅的塑性比金差,而且銅絲球焊第二焊點(diǎn)鍵合壓力比金絲球焊大很多,因此銅絲球焊第二焊點(diǎn)比金絲球焊變形損傷大,銅絲球焊拉伸時(shí)容易發(fā)生第二焊點(diǎn)斷裂,第二焊點(diǎn)斷裂又分為魚尾處斷裂(根部斷裂)和焊點(diǎn)剝離(引線和焊盤界面剝離),如圖9所示,銅絲球焊拉伸在老化初期為魚尾處斷裂,老化16天以后焊點(diǎn)剝離逐漸增多,主要是因?yàn)殂~絲球焊老化過程中第二焊點(diǎn)被氧化,從而也導(dǎo)致拉伸斷裂載荷下降。4結(jié)論(1)銅絲球焊焊點(diǎn)的金屬間化合物生長速率比金絲球焊

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