真空單位換算_第1頁
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文檔簡介

1、真空單位換算帕Pa托Tr微米汞柱μmHg毫巴mbar大氣壓atm工程大氣壓am1Pa17.51037.51029.869231061.01971051Tr133.3211031.33321.315791031.35951031μmHg0.1333210311.33321031.315791061.35951061mbar1027.51017.510219.869231041.0197103飽和水蒸汽的壓力與溫度的關系(摘自范仲元:“水和

2、水蒸氣熱力性質圖表“p4～10)溫度℃水蒸氣壓力MPa相應真空度MPa220.002640.09869240.002980.09835260.003360.09797280.003780.09755300.004240.09709320.004750.09658340.005320.09601360.005940.09539380.006620.09471400.007380.09395溫度℃水蒸氣壓力MPa相應真空度MPa420.00

3、8200.09313440.009100.09223460.010090.09124480.011160.09017500.012340.08899520.013610.08772540.015000.08633560.016510.08482580.018150.08318600.019920.08141溫度℃水蒸氣壓力MPa相應真空度MPa620.021840.07949640.023910.07742660.026150.0751

4、8680.028560.07277700.031160.07017720.033960.06737740.036960.06437760.040190.06114780.043650.05768800.047360.05397溫度℃水蒸氣壓力MPa相應真空度MPa820.051330.05000840.055570.04576860.060110.04122880.064950.03638900.070110.03122920.0756

5、10.02572940.081460.01987960.087690.01364980.094300.007031000.101330溫度℃水蒸氣壓力MPa1020.108781040.116681060.125041080.133901100.143271120.153161140.163621160.174651180.186281200.19854溫度℃水蒸氣壓力MPa1220.211451240.225041260.239331

6、280.254351300.270131320.278311340.304071360.322291380.341381400.361389、擴散泵抽速估算：、擴散泵抽速估算：S＝3D23D2(D(D＝直徑＝直徑cmcm）1010、羅茨泵的前級抽速：、羅茨泵的前級抽速：S＝(0.1~0.2)S(0.1~0.2)S羅(ls)(ls)1111、漏率：、漏率：Q漏＝漏＝V(P2P1)(t2t1)V(P2P1)(t2t1)Q漏－系統(tǒng)漏率漏－系統(tǒng)

7、漏率(mmHgls)(mmHgls)V－系統(tǒng)容積－系統(tǒng)容積(l)(l)P1P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)(mmHg)P2P2－真空室經過時間－真空室經過時間t后達到的壓強后達到的壓強(mmHg)(mmHg)t－壓強從－壓強從P1P1升到升到P2P2經過的時間經過的時間(s)(s)1212、粗抽泵的抽速選擇：、粗抽泵的抽速選擇：S＝Q1PQ1P預(ls)(ls)S=2.3Vlg(PaPS=2.3Vlg(P

8、aP預)t)tS－機械泵有效抽速－機械泵有效抽速Q1Q1－真空系統(tǒng)漏氣率－真空系統(tǒng)漏氣率(托升秒)P預－需要達到的預真空度預－需要達到的預真空度(托)V－真空系統(tǒng)容積－真空系統(tǒng)容積(升)t－達到－達到P預時所需要的時間預時所需要的時間PaPa－大氣壓值－大氣壓值(托）托）1313、前級泵抽速選擇：、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸

9、泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgSPnSg≥PgS或Sg≥PgsPnSg≥PgsPnSgSg－前級泵的有效抽速－前級泵的有效抽速(ls)(ls)PnPn－主泵臨界前級壓強－主泵臨界前

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