腐蝕工藝

1、浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司文件編號(hào)：Q03JS15版本號(hào)：A1頁(yè)碼：第1頁(yè)共3頁(yè)腐蝕車(chē)間操作規(guī)范腐蝕車(chē)間操作規(guī)范生效日期：2008年9月1日一、目的一、目的為明確作業(yè)程序，提高作業(yè)效率，保障作業(yè)安全，特制定本規(guī)范。二、適用范圍二、適用范圍適用于腐蝕車(chē)間對(duì)應(yīng)的工序操作崗位。三、主要內(nèi)容三、主要內(nèi)容1、注意事項(xiàng)：注意事項(xiàng)：作業(yè)前應(yīng)按規(guī)定穿防酸堿服、戴防酸堿手套和護(hù)目鏡，作業(yè)時(shí)應(yīng)特別注意人身安全。2、硅片去層作業(yè)：硅片去

2、層作業(yè)：1、堿洗去層：在反應(yīng)容器中配制2040%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液，將硅片加入堿鍋里進(jìn)行腐蝕，根據(jù)硅片的結(jié)深確定腐蝕時(shí)間，一般為30120秒。用漏勺撈起看硅料表面是否光亮無(wú)雜質(zhì)。2、沖洗殘堿：在沖洗槽中將硅片上附著的殘堿沖洗干凈。3、超聲波超洗：①、在超聲波內(nèi)注入足量純凈水以能夠淹沒(méi)硅片為準(zhǔn)。②、將10－15千克的硅片用純凈水沖凈，倒入清洗槽內(nèi)，打開(kāi)超聲機(jī)清洗開(kāi)關(guān)，每10分鐘將硅片全部翻動(dòng)一次，以免疊片時(shí)夾雜雜質(zhì)，無(wú)法清洗出來(lái)。清

3、洗20分鐘換兩次水后關(guān)閉超聲清洗開(kāi)關(guān)，將槽內(nèi)清洗水放盡。③、用高純水再超兩次（每次10分鐘），每3分鐘將硅片翻動(dòng)一次，最后關(guān)閉超聲波開(kāi)關(guān)，放盡清洗水，翻動(dòng)硅片，將雜質(zhì)和殘留硅片上的清洗水沖盡。④、氫氟酸浸泡：在浸泡池中配置15%～25%的氫氟酸溶液，將硅片放入浸泡池內(nèi)浸泡56分鐘，并攪拌硅片避免疊片。或用1：15－20的混酸進(jìn)行清洗30S左右。⑤、沖洗殘酸：在沖洗槽中將硅片殘酸沖洗干凈。批準(zhǔn)審核編制修改履歷頁(yè)碼內(nèi)容狀態(tài)備注浙江昱輝陽(yáng)光能

4、源有限公司浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司文件編號(hào)：Q03JS15版本號(hào)：A1頁(yè)碼：第3頁(yè)共3頁(yè)腐蝕車(chē)間操作規(guī)范腐蝕車(chē)間操作規(guī)范生效日期：2008年9月1日據(jù)實(shí)際情況有具體規(guī)定），將槽內(nèi)清洗水放盡，再用高純水沖洗硅塊，將殘留雜質(zhì)沖凈。B、用高純水再超兩次（每次10分鐘），每3分鐘將硅塊翻動(dòng)一次，最后關(guān)閉超聲波開(kāi)關(guān)，放盡清洗水，用高純水沖洗硅塊，將殘留雜質(zhì)沖凈。6、沖洗：將硅塊放入沖洗槽中沖洗并攪拌。7、烘干：將硅塊放入烘籃中，堆積厚度不超過(guò)15