防靜電工作區(qū)防靜電技術(shù)的13項要求

1、防靜電工作區(qū)防靜電技術(shù)的防靜電工作區(qū)防靜電技術(shù)的13項要求項要求1、ESD防護工作臺面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。推薦工作臺面尺寸為1200mm600mm。ESD防護工作臺面的對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。對地電阻測量原理按SJT10694的圖7，測量電表的一端接到腕帶接地插孔上，另一個電極距此0.9m，測量5個點（測量電極以0.9m為半徑的繞接地插孔旋轉(zhuǎn)移動），取其平均值。表面（點對點）電阻測量原理按SJT106409

2、的圖6a，二測試電極相距0.9m，共測量5組數(shù)據(jù)取平均值。測量時一個電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動。表1EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求物品章條號表面（點對點）電阻或端以端電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下對地電阻說明工作臺面5.6.17.5x105~1.0x10107.5x105~1.0x109————地板、地墊5.6.21x105~1.0x10101x105~1.0x109——————≤1.0x105——從內(nèi)表面對地測量————7.5x

3、105~3.5x107——腕帶7.5x105~5.0x106——腕帶連線端對端測量鞋束5.6.3——5x104~1.0x108————存放架運輸小車5.6.47.5x105~1.0x10107.5x105~1.0x109————周轉(zhuǎn)容器5.6.57.5x105~1.0x1010——————工作椅5.6.6≤1.0x10107.5x105~1.0x109————工作服5.6.81x105~1.0x10101.0x105~1.0x1010—

4、———防靜電鞋、襪5.6.9————5x104~1.0x1010雙腳測量手套、指套5.6.10————7.5x105~1.0x1010單只測量2、ESD防護地板、地墊除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電地板，EPA應(yīng)采用靜電耗散地板或地墊并接地良好，其對地電阻和表面（點對點）電阻的要求見表1。對地電阻的測量原理按SJT10694的圖5。表面（點對點）電阻的測量原理按SJT10694的圖4，每4m2隨機抽取5點并取中心對四角4次測量結(jié)果的平

5、均值，測量點遺著板的邊緣不得小于10mm。3、ESD防護腕帶、鞋束（足跟帶）在ESD防護工作臺面的二個角落上應(yīng)配置供腕帶接地用的插孔（即EBP）二個，一個供操作人員使用，另一個供其他相關(guān)人員使用。腕帶內(nèi)表面（與手腕的接觸面）對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定，其測量原理及方法按SJT10694第6.9.1條。在腕帶被除數(shù)佩戴情況下，對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定，其測量原理及方法按SJT10694第6.9.3條。供連接腕帶用的腕帶連線，其端對端之間的電

6、阻應(yīng)符合表1規(guī)定，其測量原理及方法按SJT10694第6.9.2條。在使用腕帶不方便的情況下，在使用鞋束（足跟帶）進行人體防護接地。鞋束（足跟帶）應(yīng)由靜電耗散材料制作，其系統(tǒng)電阻值應(yīng)符合表1，測量原理及方法按SJT10694第6.10條。4、物品存放架、內(nèi)部運輸小車（物流車）應(yīng)能通過支腳或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面（點對點）電阻值應(yīng)符合不1。對地電阻的測量原理及方法按SJT10694第6.8條。表面

7、臨著點對點）電阻的測量原理及方法近SJT10694第6.4.1條。轉(zhuǎn)容器（箱、盤、盒）其內(nèi)、外表面（點對點）電阻應(yīng)符合表1規(guī)定。電阻的測量原理及方法按SJT10694第6.7條。5、工作椅工作椅應(yīng)能通過支腳或輪接地，在正常操作情況下與人體接觸的表面應(yīng)由耗散材料制作。工作椅的對地電阻和表面（點對點）電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定。對地電阻的測量原理及方法按SJT10694第6.5.1條。表面（點對點）電阻的測量原理及方法按SJT10694第6.5.

8、2條。6、電烙鐵焊頭部位應(yīng)進行硬接地，從焊頭到接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2Ω。7、工作服工作服應(yīng)符合GB12014的規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在著電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時，其上應(yīng)設(shè)置專門的接地連接點（見圖3），在穿用過程中通過導(dǎo)線接地。工作服的以地電阻和表面（點對點）電阻要求按表1，其測量原理分別見圖3和圖4。測量電極為圓柱形，直徑50mm，重量2kg。8、防靜電鞋、襪進入EPA的人員應(yīng)穿

9、用防靜電鞋。鞋的性能要求應(yīng)符合GB4385的規(guī)定。在穿用狀態(tài)下，鞋、襪對地電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定，測量原理及方法按SJT10694第6.11條。9、防靜電手套、手指套防靜電手套或指南應(yīng)由靜電耗散材料制作，在佩戴情況下其對地電阻要求就符合表1。對地電阻的測量原理按圖5，測量電極為圓形金屬板，直徑最小20mm，或使用金屬夾子。10、防靜電門必要時，門反手應(yīng)能導(dǎo)靜電，例如經(jīng)過防靜電處理或由靜電耗散材料制作，以便當(dāng)人員進入EPA時通過手握把手來消