集成電路用磷銅陽極

1、靶材技術成熟度等級劃分及定義靶材技術成熟度等級劃分及定義編制說明（討論稿）標準編制組二〇一七年十月《靶材技術成熟度等級劃分及定義》是國內(nèi)首個靶材技術成熟度國家標準，開展本項目的研究，建立靶材技術成熟度評價國家層面的統(tǒng)一標準，可以協(xié)助企業(yè)對研發(fā)產(chǎn)品進行技術成熟度評價，指導企業(yè)的靶材研發(fā)和生產(chǎn)。同時還可以依據(jù)標準提出的技術成熟度量化分級標準，有利于指導社會投資，提高投資效率；依據(jù)此標準，可以使企業(yè)院所在自行開展或申請科研建設投資的時候，判斷

2、其技術所處的總體水平，進一步明確投資方向；在此基礎上對全國靶材制造行業(yè)技術發(fā)展狀況進行全面科學量化的評價，為國家相關部委提供決策與規(guī)劃參考，規(guī)范和引導我國靶材制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展和優(yōu)化布局。通過該項目的實施，建立靶材技術成熟度分級的明確標準，對進一步推動靶材技術領域的標準化、系列化、通用化具有重要意義。1.2起草單位有研億金新材料有限公司，簡稱有研億金，2014年1月由“有研億金新材料股份有限公司”更名為“有研億金新材料有限公司”，隸屬于

3、北京有色金屬研究總院。有研億金屬于中關村科技園高新技術企業(yè)、“十百千工程”重點培育企業(yè)，擁有北京市企業(yè)技術中心2012年公司被評定為“國家級科技創(chuàng)新型示范企業(yè)”。公司是中國半導體行業(yè)協(xié)會支撐分會理事單位、中關村集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事單位、上海黃金交易所綜合類會員、中國有色金屬學會貴金屬學委會副主任單位和全國有色金屬標委會貴金屬分標委會副主任單位。經(jīng)過10多年的發(fā)展，有研億金已成為具備一定產(chǎn)業(yè)規(guī)模在微電子領域內(nèi)具有良好影響力的快速成長型企業(yè)

4、。有研億金擁有30多年專業(yè)從事稀有和貴金屬材料研究、開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，獲得并積累了一大批國家和部級科研成果，培養(yǎng)造就了大批科研、生產(chǎn)人才。有研億金是國內(nèi)率先開展磁控濺射用靶材的單位，在微電子領域用高純金屬靶材制備加工領域具有國內(nèi)領先的優(yōu)勢。多年來，有研億金利用具有自主知識產(chǎn)權的高性能金屬材料制備技術，開發(fā)了獨具特色的靶材產(chǎn)品，產(chǎn)品涉及各種材料Al、Cu、Ti、Ru及其合金，各種難熔金屬等，形成了具有年產(chǎn)值近億元的產(chǎn)業(yè)基地，如先進鍍膜用半導

5、體材料、光學材料、稀土材料、集成電路相關材料、磁存儲相關材料等，具備一大批對高純金屬材料制備加工技術具有堅實理論基礎和豐富實踐經(jīng)驗的專家和技術人員。有研億金歷年承擔國家級、省部級科技開發(fā)項目近百項，其中“十一五”、“十二五”期間，公司承擔了國家02專項、國家國際重點合作項目、國家高技術產(chǎn)業(yè)化項目、國家科技支撐項目、863項目等36項國家重點項目，為我國新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到巨大支撐作用。公司共獲國家科技進步獎特等獎子項獎1項、國家科技進步