船舶液壓油固體顆粒分級(jí)檢測(cè)研究.pdf

1、液壓系統(tǒng)在船舶上的使用已經(jīng)非常廣泛，并且相對(duì)于其他液壓系統(tǒng)，船舶液壓系統(tǒng)的工作強(qiáng)度大、工作環(huán)境惡劣，這要求船舶液壓系統(tǒng)需要進(jìn)行更好的維護(hù)和管理，其中就包括了對(duì)船舶液壓油清潔度的更高要求。統(tǒng)計(jì)資料表明，75％以上的液壓機(jī)械系統(tǒng)故障是由于液壓油的顆粒污染物所致，對(duì)液壓油顆粒污染物進(jìn)行檢測(cè)是保持油液清潔度的重要手段，這對(duì)于檢查和預(yù)防液壓機(jī)械故障具有極其重要的意義。文章完成的主要工作如下:
　　(1)設(shè)計(jì)了微流體顆粒分級(jí)檢測(cè)芯片，對(duì)其進(jìn)行

2、建模后用ANSYS CFX軟件進(jìn)行分級(jí)效果的三維仿真，通過(guò)仿真確定了最佳的分級(jí)檢測(cè)芯片結(jié)構(gòu)參數(shù)。
　　(2)接著用軟光刻法制作了分級(jí)檢測(cè)芯片，根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)一步優(yōu)化了芯片分級(jí)結(jié)構(gòu)參數(shù)，并進(jìn)行了分級(jí)實(shí)驗(yàn)，成功對(duì)液壓油中粒徑為10μm和30μm的銅顆粒進(jìn)行了分級(jí)，驗(yàn)證了仿真結(jié)果的準(zhǔn)確性。
　　(3)對(duì)整體分級(jí)檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)，包括光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和信號(hào)處理采集系統(tǒng)。根據(jù)檢測(cè)特點(diǎn)設(shè)計(jì)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)并確定每個(gè)元器件的型號(hào)。在信號(hào)處理采集系