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文檔簡介
1、LED藍寶石基板產品結構圖?LED藍寶石基板20113116:19藍寶石(Al2O3,英文名為Sapphire)為製成氮化鎵(GaN)磊晶發(fā)光層的主要基板材質,GaN可用來製作超高亮度藍光、綠光、藍綠光、白光LED。1993年日亞化(Nichia)開發(fā)出以氮化鎵(GaN)為材質的藍光LED,配合MOVPE(有機金屬氣相磊晶法)的磊晶技術,可製造出高亮度的藍光LED。藍寶石的組成為氧化鋁(A12O3)是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式
2、結合,晶體結構為六方晶格結構,藍寶石的光學穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都有很好的透光性,並且具備高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、熔點高(20452度C)等特點,常作為光電元件材料。就超高亮度白藍光LED品質取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質,因此與所採用的藍寶石基板表面加工品質有關,藍寶石(單晶A12O3)C面與IIIV和IIVI族沈積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小,同時符合GaN磊晶製程耐高溫的要求,因此藍寶石基板成為
3、製作白藍綠光LED的關鍵材料。藍光LED晶粒的長晶材料的藍寶石基板是由藍寶石晶棒切割而成,藍寶石晶棒是將氧化鋁(Al2O3)的單晶作為長晶的基礎,採拉晶法培育生長,培育方法因各家廠商參數(shù)不同而有不同純度。藍寶石晶體常用生長方法:1.柴氏拉晶法(簡稱CZ法):是將原料加熱至熔點後熔化成熔湯,再利用單晶晶體接觸熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上因溫度差異而形成過冷,因此熔湯開始在晶種表面凝固並生長和晶種相同晶體結構的單晶,晶種同時以緩慢的速
4、度往上拉升,並以一定的轉速旋轉,熔湯逐漸凝固於晶種液固界面上,形成一軸對稱的單晶晶錠。2.凱氏長晶法(簡稱KY法):原與CZ法類似,將原料加熱至熔點後熔化成熔湯,再以單晶之晶種接觸到熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上開始生長和晶種相同晶體結構的單晶,晶種以緩慢的速度往上拉升,但在晶種往上拉形成晶頸後,等熔湯與晶種界面的凝固速度穩(wěn)定後,晶種即不再拉升,也不做旋轉,僅控制冷卻速度使單晶從上方逐漸往下凝固,凝固為一整個單晶晶錠。細分藍寶石基板
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