13.9nm光柵分束器及相關(guān)問題研究

1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文13.9nm光柵分束器及相關(guān)問題研究姓名：譚鑫申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：同步輻射及應(yīng)用指導(dǎo)教師：付紹軍20080501中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博上學(xué)位論文 摘要制作在同一基底上的，其從根本上解決了光柵拼接過程中的問題。作者結(jié)合該干涉系統(tǒng)對工作光柵與調(diào)整光柵的要求，對雙頻調(diào)整光柵的線密度進行了設(shè)計，并且在理論上推導(dǎo)了雙頻光柵在制作過程中的誤差：對雙頻調(diào)整光柵用于該干涉系統(tǒng)預(yù)調(diào)整可能產(chǎn)生的誤差進行了定量的分析，確定了雙頻調(diào)

2、整光柵的可行性。作者結(jié)合雙頻調(diào)整光柵制作過程的誤差分析在制作過程中對其進行有效的控制，實現(xiàn)了在同一基底上同時制作雙頻調(diào)整光柵與工作光柵光刻膠掩模。最后，對其線密度，線密度關(guān)系，雙頻光柵線條平行度這三個對干涉系統(tǒng)調(diào)整精度有顯著影響的參數(shù)進行了實際測量。其中，雙頻光柵線條平行度測量系統(tǒng)是作者自行搭建的一套高精度平行度測量系統(tǒng)，具有很高的擴展性。測量結(jié)果表明所制作的雙頻調(diào)整光柵的各項參數(shù)與設(shè)計相吻合，用于該干涉系統(tǒng)預(yù)調(diào)整將獲得較高的預(yù)調(diào)整精度

3、。二． X 射線激光L 鋤i n a r 分合束光柵的研制基于衍射光柵的X 射線干涉系統(tǒng)的核心部件就是分合束光柵，他是最近興起的等離子體診斷技術(shù)的核心部件。鑒于干涉系統(tǒng)的特殊要求，其O 級與1 級衍射光構(gòu)成了干涉系統(tǒng)的兩臂，且0 級與l 級衍射效率也要盡量接近，故其0 級與l級的衍射效率是分合束光柵的重要參數(shù)。由于其特殊要求，必須先對其進行槽型的選擇和設(shè)計而后進行制作研究工作。作者通過計算對比了在波長l 3 ．9 m 的X 射線激光入射

4、情況下的閃耀槽型光柵、正弦槽型光柵和L a m i n a r 槽型光柵的0 級與l 級衍射效率，且結(jié)合制作工藝確定了制作L a m i n a u r 槽型光柵作為X 射線分合束光柵。L a m i n a r 光柵不但能夠獲得較高的O 級與1 級衍射效率且制作過程相對簡單，參數(shù)控制相對容易。而后，對L a m i n a r 工作光柵的線密度等槽型參數(shù)進行了理論設(shè)計得到了最優(yōu)化的槽型參數(shù)。作者在獲得最優(yōu)槽型參數(shù)后，使用全息曝光一離子