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1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文鈦酸鉍鈉((NaBi)TiO)基無(wú)鉛壓電陶瓷的研究姓名:馬晉毅申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:謝道華2000.6.1丕堡盔蘭堡主蘭焦堡.』L ———————————————一A B S T R A C TT h e ( N a ∽B i 1 /2 ) T i 0 3 - M e T i 0 3 ( N B T —M e T i 0 3 ) b i n a r y s y s t e m s a n
2、 d t h eN B T .M e T j 0 1 一N a N b O ,t e r n a r ys y s t e m s a r e m a i n l y d i s c u s s e d i nt h i st h e s i s ·T h ep a r t i a l s u b s t i t u t i o n o ft h r e e k i n d so fd i v a l l e n tm e t
3、 a l l i c i o n sM e ”( B a 2 + 、S P 、C a 2 + ) f o rc o m p l e x0 q a l /2 B i l ,2 ) 2 + i o n a tA s i t e i n N B T w i 也p e r o v s k i t e s t r u c t u r e ( A B 0 1 ) f o r i l l S t h e N B T —M e T i 0 3 b i
4、n a r y s y s t e m s .’I ‘h ec o e r c i v e f i e l d E c a n dr e m a n e n t p o l a r i z a t i o n P ro ft h e m a t e r i a l s d e c r e a s es i m u l t a n e o u s l yt o v a l u e Sm u c hl o w e rt h a nt h o
5、 s e o fN B rw h i c hm a d e 曲ep o l i n gr e l a t i v e l ye a s y .T h ep i e z o e l e c t r i cp r o p e r t i e s ( d 3 3 = 1 2 0 ×l 0 - 1 2 C /N a n dK t ) 0 .4 0 ) o f t h e N B T .B a T i 0 ,b i n a r ys y
6、 s t e m a r et h e b e s to f t h e t h r e es y s t e m s .T h em o l a rr a t i o o fN a + a n dB i 3 + 斟a + /B i ”) o fA s i t e h a s s i g n i f i c a n ti n f l u e n c e so nt h eq u a l i t i e so f t l l e N B
7、T .B a T i o ,b i n a r ys y s t e m .W h e nt h eN a +/B i 3 + d e v i a t e s f r o m 1 .t h e v o l u m er e s i s t i v i t y pVo ft h e m a t e r i a l s r e d u c e sn o t a b l y .W h e nt h eN a + /B i 3 + i sg r
8、 e a t e rt h a nl ,i ti S a l m o s ti m p o s s i b l et op o l e .O n t h eo t h e rh a n d ,a s t h eN a + /B i ”i S l e s st h a n1 ,w i t he a s y p o l i n g p r o c e s s ,t h ep i e z o e l e c t r i c p a r a m
9、 e t e r sC a nb em e a s u r e 《d 3 3 - 1 1 0 ×1 0 - 1 2 C /N a n dK t = 0 .4 7 ) .T h ed i e l e c t r i ca n d p i e z o e l e c t r i cp r o p e r t i e s o f t h eN B T - N a N b 0 3 b i n a r ys y s t e ma n d
10、 t h ee f f e c t so f t w o k i n d so f d o p a n t s ( M n C 0 3 、C e 0 9 o n t h eN B T _N a N b 0 3 b i n a r ys y s t e ma r es u c c e s s i v e l ys t u d i e d .T h e p i e z o e l e c t r i c p r o p e r t i e
11、s o f t h e N B T - M e T i 0 3 - N a N b 0 3t e r n a r ys y s t e m f a b r i c a t e db yt h ec o n v e n t i o n a l m e t h o da r e i n f e r i o r t o t h o s eo ft h eN B T - M e T i 0 1 s y s t e m s a n d t h e
12、 N B T - N a N ' 0 0 3 s y s t e m m e n t i o n e d a b o v ec o r r e s p o n d i n g l y , b e c a u s e o f t h e h i 【g h e r E c a n d t h e l o w e rp V .W i t l li m p r o v e m e n ti n f a b r i c a t i n g
13、 t e c h n o l o g y , w ep r e p a r et h e o p t i o n a l m a t e r i a l .T a bt g6 T F A T c p V( 1 0 ‘2 Q ·c m ) ( ℃) ( ℃)1 0 6 5 0 .0 4 2 1 7 0 2 5 0 l _ 3 6E c P r d “ K t N t( K V /m m ) ( C /r n 2 ) ( 1 0
14、“C /N ) ( K H z n l )3 .2 2 0 .1 4 1 1 5 0 .4 9 2 3 7 2A tl a s t ,w e d e s i g na n dm a k et h e l e a d - f r e ep i e z o e l e c t r i c c e r a m i cf i l t e rw i t h t h eN B T - B a T i 0 3 c e r a m i cm a t e
15、 r i a l .I t sc h a r a c t e r i s t i c sa r el i s t e db e l o w :C e n t e rF r e q u e n c y :6 .3 3 M H z , 3 d B B a n d w i d t h :2 2 5 K /- /zL o s s :1 1 .4 d B B z ;2 5 d BK e y w o r d :l e a d ·f r e
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