氣液固三相磨粒流拋光加工裝置設計及其加工實驗研究.pdf

1、氣液固三相磨粒流拋光加工，是一種利用處于湍流狀態(tài)的氣液固三相高速旋流磨粒流對大面積平面工件表面進行精密拋光加工的一種新方法。本論文通過對磨粒流在不同入射角狀態(tài)下的流場特性進行數值模擬，分析運動規(guī)律，得出最佳結構設計參數?；跀抵的M結果，設計拋光加工工具并搭建實驗裝置平臺，進行加工實驗研究。主要內容如下：
　　(1)以大平面光學及半導體器件表面的精密加工制造難題作為研究背景，在對國內外各類已有加工方法進行調研的基礎上，指出流體加工

2、方法的優(yōu)勢所在。綜述當前流體加工方法的發(fā)展概況及優(yōu)缺點，基于氣泡潰滅理論，提出了氣液固三相磨粒流拋光加工新方法。
　　(2)基于Realizable k-ε湍流模型與Mixture模型，建立了氣液固三相磨粒流拋光加工過程的理論分析模型。通過對磨粒流在不同入射角狀態(tài)下的流場特性進行數值模擬，分析其運動規(guī)律，得到磨粒流入射流道的最佳結構設計參數，為拋光加工工具的設計加工提供指導。
　　(3)搭建實驗裝置平臺，基于數值仿真分析結果