光場反射式直線時柵光場分布仿真和結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf

1、隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，我國對測試技術(shù)的要求越來越高，目前市場存在的主要測量儀器有光柵、感應(yīng)同步器、激光干涉儀、磁柵等。這些測量儀器中以光柵的應(yīng)用最為廣泛，光柵利用精密刻線對空間位移進(jìn)行測量，該課題小組所在實驗室提出了時柵位移傳感器的概念，利用時鐘脈沖對空間位移進(jìn)行刻劃和測量，該位移傳感器目前已逐步在工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)被應(yīng)用。
　　光場式時柵是時柵的一個新的研究方向，前期已經(jīng)完成了透射式的光場式時柵的研究，證明了光場式時柵的可行性,現(xiàn)為了擴

2、大工程上的應(yīng)用，開展反射式的光場式時柵的研究。
　　光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計和光場分布仿真是光場反射式時柵研究的一個重要組成部分,光場式時柵的光學(xué)系統(tǒng)影響著傳播光線的照度均勻性和平行性,而照度均勻性和平行性是光場式時柵的空間調(diào)制的重要保證.本文從這方面出發(fā),提高光場式時柵的測量精度,其主要的研究內(nèi)容如下。
　　(1)深入研究時柵和光場式時柵的測量原理,從數(shù)學(xué)模型上分析了光線傳播過程中的各個因素對測量的影響。
　　(2)從光源的選擇