Ti-Si-C涂層刀具制備及其切削性能評價.pdf

1、隨著各種新型材料的不斷涌現(xiàn)，對加工工具提出了越來越高的要求。涂層刀具作為新型的刀具材料，在切削難加工材料方面表現(xiàn)出諸多的優(yōu)點，是現(xiàn)階段刀具材料研究的重要方向。Ti-Si-C涂層具有高的硬度和耐磨性，摩擦系數(shù)較低，在涂層刀具方面的應用具有廣闊的前景。本文采用磁控濺射法，對Ti-Si-C涂層刀具的制備工藝進行探索，并對涂層刀具的切削性能進行了評價。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴針對制備涂層所采用的靶材，對Ti、Si、C三種元素靶材的濺射

2、過程進行了模擬計算。分析了不同轟擊能量、不同入射方向的氬離子轟擊靶材時，三個元素靶材的濺射率以及濺射粒子的能量分布情況，為深入理解濺射過程以及制備參數(shù)的選擇提供依據(jù)。⑵開展了磁控濺射法制備Ti-Si-C涂層的工藝探索研究，通過 AFM、EDS、顯微硬度計、摩擦磨損試驗機、洛氏硬度計對涂層的表面形貌、元素含量、硬度、摩擦系數(shù)以及膜基結(jié)合性能進行測試。研究了靶材濺射功率、基體溫度、工作氣壓和氬氣流量對涂層的影響。選取較優(yōu)的工藝參數(shù)，制備了T