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文檔簡(jiǎn)介
1、精密、超精密加工技術(shù)的不斷發(fā)展,要求切削力測(cè)量傳感器及系統(tǒng)微小化、高精度、高分辨率、高響應(yīng)、實(shí)時(shí)性等。研制高精度、能適應(yīng)惡劣環(huán)境測(cè)量壓力要求的薄膜電阻測(cè)力傳感器具有廣闊的應(yīng)用前景和良好的社會(huì)效益?;贛EMS技術(shù),在刀具內(nèi)嵌入薄膜微傳感器用于測(cè)量切削力,可以直接反映刀具的工作情況,具有準(zhǔn)確、有效、可靠性高等特點(diǎn)。
為研制出性能優(yōu)良適用于高溫等惡劣環(huán)境的切削力測(cè)量用合金薄膜傳感器,結(jié)合新型合金薄膜材料的基本性能,與離子束、磁控濺
2、射技術(shù)進(jìn)行新型薄膜傳感器的設(shè)計(jì)與制作。本文在對(duì)薄膜傳感器的測(cè)力原理進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了一種嵌入刀具的薄膜測(cè)力傳感器,利用仿真軟件對(duì)其基本測(cè)量性能進(jìn)行了仿真研究,并根據(jù)研究結(jié)果對(duì)傳感器進(jìn)行了相應(yīng)改進(jìn),結(jié)合成熟的物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)其無(wú)線監(jiān)測(cè)。
利用壓阻與應(yīng)變效應(yīng)制作設(shè)計(jì)了一種新型 NiCr合金薄膜傳感器,分析了其測(cè)量原理,設(shè)計(jì)了多種薄膜傳感器制作方案,選擇硅片、載玻片、鈦合金、Ni80Cr20、氮化硅等材料進(jìn)行傳感器的制作。對(duì)金屬
3、基底的加工方法進(jìn)行了研究,并根據(jù)加工效果選擇了最佳的基底材料鈦合金。就本底真空度、起輝氣體流量、起輝氣體濺射壓強(qiáng)、設(shè)備濺射功率等因素進(jìn)行了不同參數(shù)的單因素與正交試驗(yàn),測(cè)量試驗(yàn)平均濺射速率等因素后,選定了一組最佳濺射工作參數(shù)用于制作薄膜傳感器。利用最佳制作工藝參數(shù)濺射制備了切削力測(cè)量用薄膜傳感器,測(cè)試分析了其各項(xiàng)性能,在此基礎(chǔ)上改進(jìn)制備工藝,進(jìn)行了靜力學(xué)與單向切削力采集試驗(yàn)。
通過研究材料的基本性能,探討了應(yīng)變式傳感器工作的基本
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