

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、低溫共燒多層壓電陶瓷具有體積小、性能高等優(yōu)點,在集成電路等方面具有廣泛的應(yīng)用。多層低溫共燒陶瓷技術(shù)的關(guān)鍵是選擇在較低溫度燒結(jié)時具有較高綜合性能的陶瓷基體,并可用流延等方法制備高質(zhì)量的具有一定厚度的流延生片。Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3-Sr(K0.25,Nb0.75)O3(PZT-SKN)陶瓷具有高的壓電性能(d33=445pC/N)和高的居里溫度(TC=356℃),是制作低溫共燒多層器件的理想材料。本論文根據(jù)鈮酸鉀鈉(Na0
2、.5K0.5)NbO3陶瓷的組成,在PZT-SKN的基礎(chǔ)上進行改進,研制了一種新的體系:Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3-Sr(Na0.25,Nb0.75)O3(PZT-SNN)。通過探討SKN/SNN含量、燒結(jié)溫度、CuO含量及潮解性能對陶瓷微觀形貌和各方面性能的影響,確定了最佳的成分和燒結(jié)工藝,并利用流延法制備了低溫共燒多層陶瓷器件,對其進行了性能測試。
首先,利用傳統(tǒng)固相法制備了PZT-SKN和PZT-SNN壓電陶
3、瓷,通過分析其微觀結(jié)構(gòu)和壓電、介電等性能,得出當SKN含量為1wt%、SNN含量為2wt%,并且陶瓷在1175℃燒結(jié)時,兩體系具有最優(yōu)性能。當添加1wt%的CuO時,0.98PZT-0.02SNN陶瓷的燒結(jié)溫度可降到900℃,其性能為:ρ=7.67g/cm3、d33=316pC/N、kp=0.49、εr=2260、Qm=134.44、tanδ=0.012、TC=353℃。此成分的壓電陶瓷可以用于制作內(nèi)電極為Ag的低溫共燒疊層器件。此外,
4、通過對比兩個體系的潮解性能,發(fā)現(xiàn)PZT-SNN系陶瓷的耐潮解性能比PZT-SKN體系好。
其次,通過探索漿料制備工藝,利用流延法制備出了厚度約為60μm的流延生片,其表面光潔度較好,沒有氣泡、裂紋等缺陷,且可以很完整的從流延塑膜上揭取下來,可用于制備疊層器件。
最后,通過確定合適的絲網(wǎng)印刷工藝和疊層、燒結(jié)工藝,成功制備出了疊層器件。觀察其顯微形貌可知,陶瓷層和內(nèi)電極銀層厚度均勻,且兩者之間的分界線很明顯。內(nèi)電極銀層未
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- PZT基多層壓電陶瓷的制備及作動器件.pdf
- 低溫燒結(jié)PZT基壓電陶瓷的研究與制備.pdf
- BFO、PZT基壓電陶瓷及PZT基多層壓電陶瓷驅(qū)動器的制備和性能研究.pdf
- 低溫燒結(jié)軟性PZT壓電陶瓷的制備及性能研究.pdf
- 低溫共燒單層與多層并聯(lián)PNN-PZN-PZT厚膜壓電材料的制備和性能研究.pdf
- 低溫共燒疊層PZT-PMS-PZN系大功率壓電陶瓷的制備和性能研究.pdf
- PZT基壓電陶瓷的摻雜改性和低溫燒結(jié)研究.pdf
- 低溫燒結(jié)pzt壓電陶瓷研究
- 低溫燒結(jié)制備PZT壓電陶瓷及其性能研究.pdf
- PZT基壓電陶瓷的制備工藝和性能的研究.pdf
- 低溫燒結(jié)PZT壓電陶瓷研究.pdf
- PZN-PZT壓電陶瓷的低溫燒結(jié)研究.pdf
- 低溫共燒玻璃陶瓷復(fù)合材料的制備及性能.pdf
- 低溫共燒疊層壓電陶瓷降壓變壓器的研究.pdf
- 低溫共燒玻璃陶瓷材料的制備及性能、機理研究.pdf
- PSN-PZT壓電陶瓷低溫燒結(jié)研究.pdf
- PZT壓電陶瓷制備工藝及性能研究.pdf
- PZT-PMS-PZN基大功率壓電陶瓷的低溫燒結(jié)及摻雜改性研究.pdf
- 中低介電常數(shù)低溫共燒陶瓷制備工藝及性能研究.pdf
- NiZnCu鐵氧體陶瓷的低溫共燒.pdf
評論
0/150
提交評論